Barcha huquqlar himoyalangan

---

Ushbu maqola shaffof va o'tkazuvchan indiy qalay oksidi (ITO) plyonkalarini yangi va tejamkor elektrostatik purkagich yordamida
bug 'cho'ktirish (ESAVD) usuli yordamida sintez qilishda sezilarli yutuqlarni taqdim etadi. ESAVD kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD)
jarayonining bir varianti bo'lib, u atomlashtirilgan prekursor tomchilarini elektr maydoni bo'ylab püskürtmeyi o'z ichiga oladi, bunda
prekursor tomchilari qizdirilgan substrat yaqinida parchalanish va kimyoviy reaktsiyaga kirishadi va barqaror qattiq plyonka hosil qiladi.
Jarayon murakkab reaktor va vakuum tizimidan foydalanmasdan ochiq atmosferada amalga oshirilishi mumkin. Boshlang'ich
prekursorlar sifatida qalay tetraxlorid va indiy xlorid ishlatilgan. ITO plyonkalari sodali ohakli shisha substratlarga yotqizilgan.
Cho'kma harorati va kirish SnyIn nisbatining yotqizilgan ITO plyonkalarining mikro tuzilishi, optik uzatish va elektr qarshiligiga ta'siri
o'rganildi. To'plangan plyonkalarni tavsiflash uchun XRD, SEM, AFM, Raman spektroskopiyasi, optik va qarshilikni o'lchash usullari
kombinatsiyasi qo'llanildi. Istalgan plyonka xususiyatlarini ishlab chiqarish uchun 1:40 optimal kirish SnyIn nisbati topildi.
Depozitlangan ITO plyonkalari polikristalli bo'lib, o'lchamlari 250 dan 600 nm gacha bo'lgan donalardan iborat edi. 200 dan 5508 C
gacha bo'lgan haroratlarda yotqizilgan ITO plyonkalarining elektr qarshiligi 8 = 10 dan 2 = 10 V sm gacha o'zgarishi aniqlandi. Ushbu
haroratlarda to'plangan plyonkalarning optik o'tkazuvchanligi (ko'rinadigan diapazonda, 400 nm da) 76% dan oshdi, bu CVD va
purkash kabi qimmatroq va murakkab bug 'cho'ktirish usullaridan foydalangan holda ishlab chiqarilgan plyonkalar bilan solishtirish
mumkin. Ushbu oddiy va tejamkor texnikani onlayn keng ko'lamli ishlov berish uchun qo'llash mumkin. 2001 Elsevier Science BV
Barcha huquqlar himoyalangan.
Abstrakt
prekursorning atrof-muhitga yo'qolishi tufayli
samaradorlik.
Ushbu maqola ITO plyonkalarini joylashtirish uchun
yangi elektrostatik purkagich yordamida bug 'cho'ktirish
(ESAVD) usulining ilmiy va texnik hayotiyligi haqida xabar
beradi. ESAVD usuli w11x suyuq prekursorni zaryadlangan
aerozol tomchilariga elektrostatik atomizatsiya qilishni o'z
ichiga oladi. Zaryadlangan aerozol tomchilari keyinchalik
elektr maydoni ostida qizdirilgan substrat tomon yo'naltiriladi.