r , [Il]
7.1-rasm. Fotolitografiyajarayonining ketma-ketligi.
166
biriktiriladi. Montaj operatsiyalari tugagandan so'ng kristall yuzasi atrof-muhit atmosferasi ta'siridan himoyalash uchun qobiqlanadi. Oddiy integral sxemalarda chiqish elektrodlari soni 8-14 ta, KISlarda esa 64 tagacha va undan ko·proq bo'lishi mumkin. ISiar qobiqlari metall yoki plastmassadan tayyorlanadi. ISiarning qobiqsiz turlari ham mavjud.
Do'stlaringiz bilan baham: |