Исследование взаимодействия нанорельефа с поверхностью основы
Электрохимический массоперенос
Download 0.55 Mb.
|
курсовая (2)
Электрохимический массоперенос представляет собой технологический процесс электроосаждения атомных слоев металла на подложку с помощью туннельного микроскопа (СТМ). Его отличительной особенностью является то, что зонд и подложка погружены в электролит. С помощью петли обратной связи зонд удерживается на расстоянии до микрометра за счет сохранения постоянства тока Фарадея в электролите.
Масса осажденного металла определяется из первого закона Фарадея, в соответствии с которым масса металлического осадка т за время процесса t определяется с помощью формулы где rj — токовая эффективность массопереноса; / — ток в цепи; т — масса ионов; х — кратность ионизации иона; q — заряд электрона. [1] [2] Методом электрохимического массоиереноса проводят осаждение пленок серебра на проводящие подложки из пленок полимерных ионных проводников, а также формирование элементов металлического рисунка на внешней поверхности полимера. Существует массоперенос из газовой фазы, который представляет собой технологический процесс формирования пленок из газовой фазы метал- лорганических соединений с помощью сканирующего туннельного микроскопа. В основе этой технологии лежат процессы разложения газообразных металлсодержащих соединений в зазоре между зондом и подложкой и последующего локального формирования металлических пленок. Разложение происходит в процессе неунругого рассеяния электронов, эмитированных острием. Возможен также процесс осаждения металлических пленок, связанный с образованием микроплазмы между зондом сканирующего электронного микроскопа и подложкой. Технологией массопереноса из газовой фазы были осаждены пленки кадмия из газа деметила кадмия, вольфрама из гексакарбонила вольфрама, золота из диметилтрифторацетилацетоната золота и др. Давление газа лежало в пределах 60—250 Па, напряжение отрицательной полярности на зонде составляло 30—40 В, эмиссионный ток — в пределах 5 нА. Создавались локальные участки металлизации с характерным размером 10 нм. Существует также процесс, в котором потоком электронов инициируется травление материала предварительно осажденной тонкой пленки в среде активного, как правило, галогеносодержащего газа. Локальная обработка здесь уже идет по материалу, полученному отдельно в заданных условиях, а значит, и с желаемыми свойствами. Первые результаты для СТМ были получены при травлении кремния в парах WF4 при давлениях 1,33 * 102—3,99 * 105 Па. Игла СТМ при этом находилась под напряжением -15...-20 В, размер протравленных элементов составил около 20 нм. Заметим, что металлорганика и металлгалогены являются весьма токсичными, поэтому требуют специальных мер защиты. Download 0.55 Mb. Do'stlaringiz bilan baham: |
Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling
ma'muriyatiga murojaat qiling