Казанский

Вакуумная система

Вакуум в рабочей камере ускорителя, необходимый для получения и

транспортировки ионов к образцу, обеспечивается трехступенчатой ваку-

умной системой.

Предварительная откачка камеры осуществляется ротационными

масляными насосами типа ВН-1 (2 шт. + 1 резервный). На входных пат-

рубках этих насосов установлены автоклапаны, которые автоматически

перекрывают вакуумпровод в случае внезапного отключения напряжения

или других нарушений электропитания форвакуумных насосов.

Высокий вакуум достигается двумя паромасляными диффузионными

агрегатами ВА-2-3ПР, один из которых подсоединен к камере источника,

второй - к камере приемника. Скорость откачки таких агрегатов

~1000л/сек.

Для эффективного вымораживания паров масла диффузионных насо-

сов, помимо основных азотных ловушек, входящих в комплект вакуумных

агрегатов, установлены дополнительно азотная ловушка в патрубке, со-

единяющем диффузионный насос с камерой источника, и азотная ловушка

81

в патрубке между камерой приемника и вторым диффузионным насосом.

Кроме того, для предотвращения конденсации компонентов паров рабоче-

го вещества, выходящих из ионного источника, на поверхности облучае-

мых образцов, между центральной камерой и отсеком приемника установ-

лена еще одна ловушка, охлаждаемая жидким азотом.