Мишьяк атомлари диффузия коэффициентини қуйидаги ифодадан ҳисоблаймиз

2. 
   Найденному коэффициенту диффузии соответствует температура 1080ºС (см. рис. 9.5, α). При такой температуре предельная растворимость As в кремнии составляет 1,7∙10²¹ см^-3 (см. рис. 5.2), поэтому для диффузии следует использовать обедненный источник, чтобы получить С₀=1,5∙10²⁰ см^-3.
   

Решение обратной задачи для двухстадийной диффузии производят в два этапа. Вначале определим режим разгонки, затем на основании полученных данных – режим загонки. Режим разгонки найдем, используя выражение (9.10):

Отсюда после преобразования рассчитаем произведение:

Это выражение показывает, что для двухстадийной диффузии необходимо регулировать поверхностную концентрацию при загонки С₀₁, либо задавать температуру загонки Т₁, определяющую два параметра D₁ и С₀₁, а время загонки рассчитывать по известным данным: