O‘zmu xabarlari Вестник нууз acta nuuz

 
ЛИТЕРАТУРА 
1. Хохлов Е.А., Войнилович А.Г., Смирнов А.Г. - “Свойства пленок ZnO и ZnO:Al, перспективы для прозрачных 
электродов” – Доклады БГУИР , №5(35) – 2008, с.71-76. 
2. Достанко А.П., Агеев О.А., Голосов Д.А. - “Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, 
нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени” - Физика и техника полупроводников. – 2014. 
– Т.48 – Вып. 9 – С 1274-1279. 
3. Грузинцев А.Н., Волков В.Т., Якимов Е.Е. – “Фотоэлектрические свойства пленок ZnO, легированных 
акцепторными примесями Cu и Ag” - Физика и техника полупроводников – 2003г. , том 37 выпуск 3, с 
4. Рембеза С.И., Рембеза Е.С., Свистова Е.С., Кошелева Н.Н., "Металлооксидные пленки: синтез, свойства и 
применение", ВГУ – Воронеж: Издательский дом ВГУ, 2018. – 43с. 
5. Ellmer K. – “Magnetron sputtering of transparent conductive zinc oxide: relation between the sputtering parameters and 
the electronic properties” - Journal of Applied Physics. – 2000. – V.33. – P 17-32. 
6. Kavak H., Senadım E. Tuzemen, Ozbayraktar L.N., Esen R.– “Optical and photoconductivity properties of ZnO thin films 
grown by pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition” - Vacuum 83, 2009, P 540-543 
7. Shan F.K., Liu G.X., Lee W.J., Shin B.C. – “Stokes shift, blue shift and red shift of ZnO-based thin films deposited by 
pulsed-laser deposition” - Journal of Crystal Growth 291 (2006) 328-333. 
8. Hwang J.-Y., Cho C.R., Lee S.A., Jeong S.Y. // Journal of the Korean Physical Society. 2005. Vol.47.P288. 

---

O‘zMU xabarlari Вестник НУУз ACTA NUUz
 
FIZIKA 
3/2/1 2021 
- 351 -
 
 
 
 
 
 
 
 
УДК 537.622.4 
Павел ПАРЧИНСКИЙ, 
Национальный университет Узбекистана 
Доцент кафедры физики полупроводников и полимеров 
E-mail: [e-mail]