Rossiya Fanlar akademiyasi Mikrotuzilmalar fizikasi instituti

fototermik ionlanish spektroskopiyasi (FTIS). FTIS va boshqa usullar o'rtasidagi farq ifloslik markazlarining kontsentratsiyasining keng diapazonda o'zgarishi bilan ifloslanish fotoo'tkazuvchanligi signalining doimiyligidadir, shuning uchun nazariy hisob-kitoblarga ko'ra, usulning aniqlash chegarasi 106-105 ga yetishi mumkin. sm-3 (<210-15 at.%) [5] . Yarimo'tkazgich materiallarishunosligi uchun kamdan-kam holatlar yuzaga keldi, analitik usulda aniqlash chegarasi eng sof kristallardagi ifloslik tarkibidan bir necha marta pastroq bo'lgan. Ammo PTI spektrlarini qayd qilish uchun zarur bo'lgan o'rganilayotgan yarimo'tkazgichlarga past shovqinli ohmik kontaktlarni ishlab chiqarish qiyin va yuqori toza kristallarning tuzilishi va nopoklik tarkibi buzilishi mumkin. Kontaktlarni ishlab chiqarishning murakkabligi o'rganilayotgan kristallarning tozaligi oshishi bilan ortadi va FTISning muhim afzalliklarini amalga oshirishga to'sqinlik qiladi. Bundan tashqari, ushbu ishning boshida FTIS usuli miqdoriy emas edi, chunki FTIS chiziqlarining intensivligi konsentratsiyaga bog'liq emas edi. Shu nuqtai nazardan, FTIS usuli kamroq bo'lgan
sezgir spektroskopik usullar: yutilish va luminesans spektroskopiyasi, bunda spektrlar namunalar bilan aloqa qilmasdan qayd etiladi va analitik signalning konsentratsiyaga chiziqli bog'liqligi mavjud. Fotoo'tkazuvchanlik spektrlarini qayd qilishning kontaktsiz usulini yaratish va IQ spektroskopiyasining miqdoriy usullarini ishlab chiqish (fototermoionizatsiya va yutilish) dolzarb vazifalardek ko'rinadi.