- IMSlar 6ta elementdan iborat boʼlgan belgilanish tizimi yordamida klassifikatsiyalanadi:
- Birinchi element (K – harfi) – IMS keng koʼlamda qoʼllanilish uchun moʼljallanganligini bildiradi.
- Eksport uchun moʼljallanganlari ЭК harflari bilan belgilanadi.
- Ikkinchi element (harf) material va kobiq turini bildiradi (А- plastmassali planar, Э-metall-polimerli, chiqishlari 2qator qilib yasalgan,
- И-shisha keramikli planar, Б-qobiqsiz va x.z.).
IMSlarning belgilanish tizimi - Uchinchi element (bitta son) – IMSning konstruktiv-texnologik turini bildiradi (1,5,6,7-yarimo‘tkazgichli, 2,4,8-gibrid, 3-boshqa: pardali, keramik, vakuumli).
- To‘rtinchi element (ikkita yoki uchta son) – IMS seriyasining tartib raqamini bildiradi. Ikkita son birlalikda-aniq seriya raqamini bildiradi.
- Beshinchi element (ikkita harf) – IMSning funksional vazifasini bildiradi.
- Oltinchi element bir turdagi IMS seriyalari ichidagi ishlanma tartib raqamini bildiradi.
- Yarimo‘tkazgich IMSlar tayyorlash uchun asosiy material bo‘lgan - kremniy monokristal quymalari olishdan boshlanadi. (Choxralskiy usuli)
- Hosil bo‘lgan kremniy quymasi n– yoki p–turli elektr o‘tkazuvchanlikka ega bo‘ladi.
- Quyma uzunligi 150 sm, diametri esa 150 mm va undan katta bo‘lishi mumkin.
- Zonali eritish usulida monokristal ifloslantiruvchi kiritmalardan qo‘shimcha tozalanadi.
Yarimo‘tkazgich IMSlar yaratishda texnologik jarayon va operatsiyalar - Epitaksiya. Epitaksiya jarayoni asos sirtida uning kristall tuzilishini takrorlovchi yupqa monokristal ishchi qatlamlar hosil qilish uchun ishlatiladi.
- Gaz fazali va suyuq fazali epitaksiya usullari keng tarqalgan bo‘lib, ular monokristal asos sirtida n– yoki r–turli o‘tkazuvchanlikka ega bo‘lgan epitaksial qatlamlar hosil qilish imkonini beradi.
- Termik oksidlash. Termik oksidlash – kremniy sirtida oksid (SiO2) qatlam (parda) hosil qilish maqsadida sun’iy yo‘l bilan oksidlashdan iborat jarayon. U yuqori (1000÷1200) 0S temperaturalarda kechadi.
Do'stlaringiz bilan baham: |
