Пространственное разрешение
Лазер
|
Объектив:
увеличение и числовая апертура NA
|
Пространственное
разрешение по XY
|
Аксиальное
разрешение по Z
|
488 нм
|
100X, NA = 0.95
|
295 нм
|
450 нм
|
633 нм
|
100X, NA = 0.95
|
395 нм
|
590 нм
|
785 нм
|
100X, NA = 0.95
|
560 нм
|
750 нм
|
Спектральный диапазон регистрации Рамановских сигналов:
|
30 см-1 ～ 6000 см-1
(зависит от длины волны лазера возбуждения)
|
Спектральное разрешение:
|
0.25 см-1 (решётка 75 штр/мм Эшелле)
|
Чувствительность:
|
регистрирует 4-ый порядок в Рамановском спектре кремния
за 1 минуту накопления сигнала
|
Режимы сканирования:
|
- Fast mapping: сканирование лазерного луча по поверхности неподвижного образца с помощью XY гальваносканнера
- перемещение образца с помощью XY автоматизированного стола микроскопа относительно неподвижного лазерного луча
- комбинированный режим для получения панорамных изображений с высокой скоростью и высоким пространственным разрешением: XY сканнер (Fast mapping) + автоматизированный стол микроскопа
|
Максимальное поле сканирования в режиме "Fast mapping":
|
XY 150 х 150 мкм (с объективом 100х)
|
Время регистрации одного кадра 150 х 150 мкм в режиме "Fast mapping":
|
3 сек. (количество точек: 1001 х 1001)
|
Компьютерный контроль:
|
полная автоматизация
|
Оптический микроскоп
Тип, модель (могут быть использованы другие типы инвертированных или прямых микроскопов)
|
инвертированный Nikon Ti-S или прямой Nikon Ni-U
|
Стол:
|
автоматизированный
|
- диапазон перемещения
|
114 х 75 мм
|
- точность (1 мм перемещения)
|
0.06 мкм
|
- XY воспроизводимость
|
± 1 мкм
|
- минимальный шаг
|
0.02 мкм
|
Микрообъективы:
|
100х NA-0.95
40х NA-0.75
20х NA-0.50 и другие
|
Z-сканер:
|
пьезосканнер
|
- диапазон перемещения объектива
|
80 мкм
|
- минимальный шаг
|
50 нм
|
- воспроизводимость
|
< 6 нм
|
Цифровая видеокамера высокого разрешения:
|
цифровая цветная ПЗС-камера
|
- сенсор
|
1/2", 2048 x 1536 пикселей
|
- АЦП
|
10 бит, скорость 12 кадров/сек
|
Ввод лазерного излучения:
|
трёхпозиционная автоматизированная турель
|
* Могут быть использованы другие типы инвертированных или прямых микроскопов
Оптико-механический модуль (ОММ)
Оптика, оптимизированная для спектрального диапазона:
|
325 - 1050 нм (UV-VIS-NIR)
400 - 1100 нм (VIS-NIR)
|
Ввод лазерного излучения:
|
трёх- и пятилучевой входной порт
|
Ослабитель лазерного излучения:
|
автоматизированный узел с нейтральным фильтром переменной плотности 0 - 3D
|
Поляризатор (канал возбуждения) и
анализатор (канал регистрации):
|
призма Глана-Тейлора (автоматизированный узел)
|
Расширитель пучка лазера:
|
автоматизированный вариотелескоп, коэффициент увеличения 1.0 – 4.0x
|
Позиционер фазовой (λ/2) пластинки:
|
автоматизированный трёх- / пятипозиционный
|
Позиционер Рамановских фильтров:
|
автоматизированный трёх- / пятипозиционный
|
Позиционер интерференционных фильтров:
|
автоматизированный шестипозиционный
|
Позиционер предпинхольного объектива:
|
автоматизированный трёхкоординатный (X, Y, Z)
|
Монохроматор-спектрограф с компенсацией астигматизма MS5004i
Оптическая схема:
|
вертикальная
|
Фокусное расстояние:
|
522 мм
|
Увеличение:
|
1.0 вертикальное,
1.0 горизонтальное
|
Вертикальное пространственное разрешение:
|
< 20 мкм
|
Размер плоского поля:
|
28 х 5 мм
|
Рассеянный свет:
|
1 х 10-5 (на расстоянии 20 нм от линии лазера 633 нм)
|
Узел дифракционных решёток:
|
автоматизированная турель на 4 решётки
|
Спектральное разрешение:
(эффективное, FWHM)
|
0.25 см-1 (решетка 75 штр/мм Эшелле, длина волны 500 нм)
0.7 см-1 (решетка 1800 штр/мм, длина волны 532 нм)
0.5 см-1 (решетка 1800 штр/мм, длина волны 633 нм)
|
Спектральные щели:
|
|
- входная
|
автоматизированный конфокальный пинхол, плавно регулируемый от 0 до 1.5 мм
|
- выходная
|
автоматизированная,плавно регулируемая от 0 до 2 мм
|
Порты:
|
1 входной, 2 выходных
|
Переключение выходных портов:
|
автоматизированное выходное зеркало
|
Спектральная камера для спектрографа
Размер фоточувствительного элемента:
|
12 x 12 мкм
|
Размер фоточувствительного поля:
|
24.576 x 1.464 мм
(длина x высота)
|
Область спектральной чувствительности:
|
от 200 до 1100 нм
|
Охлаждение с температурной стабилизацией:
|
двухступенчатое элементом
Пельтье до –45 °С
|
Разрядность АЦП камеры (аналого-цифрового преобразователя)
|
16 бит
|
Чувствительность
|
1 фотон на 1 отсчет АЦП (на длине 650 нм)
|
Динамический диапазон
|
не менее 10 000
|
Тип
|
цифровая ПЗС камера. По согласованию с Заказчиком возможно использование камеры 1024*256 пикселей, 126 мкм, с BackThinned или Front-Illuminated типом сенсора с охлажденим до -100 °C.
|
Модуль скоростного сканирования X, Y
Сканнеры:
|
гальванометрические сканнеры зеркал (X, Y)
|
|
|
Режимы сканирования:
|
растровый скоростной и старт-стопный
|
Точность позиционирования:
|
30 нм
|
Сканируемая площадь:
|
150 мкм х 150 мкм (с объективом 100Х)
|
Скорость сканирования скоростного режима:
|
3 сек/кадр 1001 х 1001 точек
|
Модуль конфокального лазерного микроскопа
Позиционер предпинхольного объектива:
|
автоматизированный трёхкоординатный (X, Y, Z)
|
Конфокальный пинхол:
|
автоматизированный конфокальный пинхол, плавно регулируемый от 0 до 1.5 мм
|
Детектор:
|
Hamamatsu Photosensor module H6780-01
|
Лазеры
Тип лазера:
|
Одновременное использование до 5-ти лазеров
|
|
Длина волны, нм
|
Мощность, мВт
|
Гелий-кадмиевый (Single Mode (TEM00) He-Cd):
|
325
|
15, 30, 40, 50
|
Твердотельный с диодной накачкой (DPSS):
|
473
|
25, 50
|
Твердотельный с диодной накачкой (DPSS):
|
532
|
25, 50
|
He - Ne лазер:
|
633
|
10
|
Твердотельный с диодной накачкой (DPSS):
|
785
|
80
|
|
Возможно применения лазеров других типов с длиной волны от 350 до 850 нм
|
Do'stlaringiz bilan baham: |
