4-Амалий машғулот тэм электрон микроскоплари тузилишини ва ишлаш жараёнини ўрганиш

---

4-Амалий машғулот 
ТЭМ электрон микроскоплари тузилишини ва ишлаш жараёнини 
ўрганиш 
 
Электронларнинг моддалар билан ўзаро таьсирлашувининг турли хил 
жараёнлари электроннинг турли функтсияларини ўрганишга имкон беради. 
Электрон 
билан 
ўзаро 
таьсирлаш 
хусусиятларини 
аниқлайдиган 
электронларнинг асосий характеристикаси ва натижада қабул қилинган 
маьлумотларнинг табиати модда электронларнинг тезлиги ёки аниқроқ, 
уларнинг кинетик энергияси. 
ТЭМ электрон микроскоплари кўриниши 
 
Электронларнинг юзлаб электрон вориси (секин электронлардаги 
диффрактсион усул) энергияси билан электронларнинг изчил (эластик) 
тарқалиши қаттиққатламларнинг сирт қатламининг атом-кристал тузилишини 
ўрганишга имкон беради. Уч ўлчовли атомик кристал тузилишини тахлил 
қилиш учун эластики тарқалган электронларнинг ўнлаб ва юзлаб 
килоелектронволт (тезкор электрон диффрактсион усули) тартибидаги энергия 
билан диффрактсияси ишлатилади. Тезроқ электронлар дифрактсия усули 
рентген диффрактсиясига ўхшайди. 
Тез электронларнинг бикир тарқалиши ва дифрактсияси электрон-оптик 
анализ усули - шаффоф электрон микроскопи усули (ШЕМ) асосида амалга 
оширилади. Кристалли моддаларни ўрганиш учун қўлланиладиган бу усул 
кўпинча диффрактсион электрон микроскопи деб аталади. Ба'зан атамалар 
электрон микроскопи (трансмиссон электрон микроскопияси) атамаси 
ишлатилади. 

---

ТЭМ электрон микроскоплари кўриниш шаройити 
Шаффоф электрон микроскопи (ШЕМ) электрон нурнинг ўрганилаётган 
об'ектга та'сирига асосланган. Обьектда бу ҳолда пайдо бўладиган нурланиш 
схематик тарзда унинг натижасида Брагг ҳолатига мос келадиган обьект ва 
электронлар орқали ўтадиган электронлар шаффоф электрон микроскопи 
усули қўлланилишида иштирок этади. 
ШЕМ ни яратишда биринчи қадамлар 30-йиллар бошланишига (1931-
1932) тўғри келади. Улар электрон оптикани ривожлантириш билан боғлиқ 
эди. Электрон микроскопнинг биринчи прототипи тахминан 1934 йилда Руск 
(Е. Руска) томонидан қурилган. Амалда ишлатиладиган электрон 
микроскопларнинг биринчи намуналари 1939 йил охирида пайдо бўлди. 
Боррес ва Раск томонидан ишлаб чиқилган микроскоп «Сиеменс» 
микроскопининг прототипи бўлиб хизмат қилди. 1939 йилда биринчи марта 
тасвирланган Пребус ва Ҳиллер дизайни РCА микроскопининг прототипи 
бўлди. Тахминан беш йил мобайнида бир нечта компаниялар ушбу турдаги 
асбоб-ускуналарни ишлаб чиқаришни йўлга қўйган. 1950 йилга келиб, 
электрон микроскоплари 20 дан 10А гача бўлган имкониятлар билан яратилди. 
Ўшандан бери электрон микроскоплари кўплаб илмий-тадқиқот институтлари 
амалиётида мустаҳкам ўрнашиб олинган. 

---

Трансмиссион электрон микроскопи электрон пушка ва электромагнит 
линзалар тизимидан иборат бўлиб, у вертикал колонда 10
-3
…10
-4
Па бўлган 
вакуум билан қамралган. 
Трансмиссион электрон микроскопи кўриниши 
Трансмиссион электрон микроскопининг оптик схемаси аньанавий нур 
микроскопига ўхшаш (3.4-расм). Конденсор линзаси тор электрон нурига эга 
бўлган обьектни «ёритади». Обьектив ва проекторли линзаларни 
кенгайтирилган ҳажмдаги обьект тасвирлари экранга ўтказилади. 
ТЕМнинг асоси электронлар манбаи бўлиб, вакуум хонасида жойлашган 
электрон пушкадир. Электрон пушка ёритиш тизимининг вазифасини 
бажаради. У учта асосий элементлардан иборат: катод, анод ва улар орасида 
ишлайдиган Венелт цилиндри, у ўз навбатида сетка (триод типидаги чироқ)
вазифасини бажаради. Катод волфрам чивиқидан тайёрланган. Натижада 
катодни қиздирганда унинг яқинида жойлашган термоелектрон эмиссия 
электронлар булутини ҳосил қилади. Катод ва анод ўртасида юқри тезлашувчи 
кучланиш қўлланилади. Ушбу кучланиш таьсири остида электронлар катоддан 
анодгача кўчирилади. Анодада кичик тешик мавжуд. Баьзи электронлар бу 
тешикка кириб, электрон микроскоп устуни бўйлаб юришади (3.4-расм). Анод 
бўшлиқига ўтган электронлар электромагнит линзалардан та'сирланиб, 
микроскопнинг таркибига қараб фарққилиши мумкин. Электрон тушган 
биринчи линза конденсер линзаларидир. Конструктив кўринишда конденсетор 

---

бир ёки икки линзадан иборат бўлиши мумкин. Конденсетор учун муаммо, 
электронларни намунага қаратишдир. Конденсер линзалари намунага 
электрон манба кичрайтирилган тасвирини қаратиши мумкин, бу эса ~ 2мм 
нуқтага айлантирилиши мумкин. Бу об'ектнинг текширилган майдонини яхши 
ёритишни таьминлайди. Асосий электрон нурининг кичик бурчаги бирламчи 
электрон тутам кондансерли диафрагма орқали таьминланади.