Hosil qilish
Download 21.56 Kb.
|
Diplom
|
1.4.1. Fizik usullar
Yupqa plyonkalarni hosil qilishning fizik usullari qoplama ustiga kerakli materialning bug'lari tushishiga asoslanadi va PVD (Fizik bug' birikmasi) deb belgilanadi [24-27, 74-77]. Ushbu usul gaz fazasining shakllanishi, zarralarning manbadan qoplamaga yo'naltirilgan massa uzatilishi va qoplama yuzasida zarralarning kondensatsiyasi natijasida plyonka hosil bo'lish bosqichlaridan iborat. PVD usuli bilan fizikaviy cho'ktirishning asosiy sharti - bu gaz fazasining zarralari bilan o'zaro aloqani istisno qilish, shuningdek atomlarning qoplamaga uzatilishini ta'minlash uchun ish kamerasida yuqori vakuum hosil qilish. Shuning uchun bu usullarni vakuum usullari deb ham atashadi. Yuqori vakuumni yaratish murakkab va qimmatbaho moslamalarni talab qilganligi sababli, ushbu usullar bilan olingan plyonkalarning narxi, ayniqsa ular avtomatlashtirilmagan bo'lsa, juda yuqori. Vakuumli plyonkalarni hosil qilish usullari gaz fazasini yaratish usullari, massa uzatish va plyonka hosil qilish usullari hamda shartlari bilan farq qiladi. Qattiq fazali nishon atomlarini gaz fazasiga o'tkazishning asosiy mexanizmlari bu issiqlik bug'lanishi va yuqori energiyali ionlar yoki atomlar bilan nishonning ionli purkashni amalga oshirishdir. Bug'lanish va purkash usullari natijasida hosil bo'lgan gaz oqimlari zarra energiyasining turli xil qiymatlari, ionlash darajasi va oqim zichligi bilan tavsiflanadi. Shu nuqtai nazardan, purkash yoki bug'langan zarralardan olingan plyonkalar tuzilishi va shunga o`xshash xususiyatlari bilan farq qiladi. Plyonkalarni ishlab chiqarish uchun eng keng tarqalgan fizik usullar purkash usullari, shuningdek, elektron nurlari va lazer bug'lanishi hisoblanadi (16, 17-rasmlarga qarang). 1.17-rasm - Rezistiv termal bug'lanish uchun vakuum kamerasining sxemasi 1 - qoplama, 2 - hosil qilingan plyonka, 3 - gazsimon plyonka materiali, 4 - bug'langan material, 5 - bug'latish moslamasi, 6 - isitgich, 7 - vakuum nasosining chiqishi [77]. 1.16 -rasm. Xalkogenidli shisha yarimo'tkazgichni lazer yordamida bug'latish sxemasi [78]. Download 21.56 Kb. Do'stlaringiz bilan baham: 
|