Казанский

Магнетронная распылительная система ВУП-5М

Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения

пленок из различных материалов методом магнетронного распыления.

Прибор выполнен одной стойкой, в которой размещены рабочая камера,

вакуумная система, блоки питания, пульты управления.

В рабочей камере установлены три магнетронных распылителя с пло-

ской мишенью, схематическое изображение которых показано на Рис.7, с

той лишь разницей, что зона распыления замыкается в окружность

(Рис.10).

Рис.10. Рабочая камера магнетронной распылительной системы ВУП-5М: 1 -рабочий объем; 2 - магнетрон; 3 - съемная мишень; 4 - подложкодержатель; 5 - зажим; 6 - подложка; 7 - заслонка; 8 - плазма тлеющего разряда; 9 - ручка для вращения заслонки в рабочем объеме; 10 - ручка для вращения подлож-кодержателяврабочемобъеме; 11 - водянойшланг; 12 - краннапускарабоче-гогаза; 13 - высоковольтныйввод; 14 - откачкадиффузионным насосом
Перед напылением на магнетрон (2) устанавливают катод-мишень (3),

закрепляют подложку (6) на держателе (4), проверяют работу заслонки (7) и

26

откачивают вакуумную камеру до ~10^-4 Па. С помощью крана (12) напус-

кают рабочий газ аргон, обычное рабочее давление которого равно (0,55)10^-5 Па. На катод подают отрицательное напряжение относительно анода.

Основные параметры и характеристики МРС ВУП-5М:

 остаточное давление в камере, создаваемое диффузионным насосом при работающей азотной ловушке — 1,310^-4 Па;
 максимальное напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя источника питания магнетрона - не менее 0,9 кВ;
 максимальный ток магнетрона - не менее 300 мА;  температура подложки - до 1000 °С;
 время нагрева подложки - не более 30 мин;

 время смены подложек не более 7 сек, скорость вращения подложек не менее 0,5 сек.
Управление магнетронной системой ВУП-5М производится с пульта управления. С помощью пульта обеспечивается выход в рабочий режим вакуумной системы из холодного состояния и коммутация вакуумной системы во время работы. Схема вакуумной коммутации ВУП-5М при-ведена на Рис. 11.

Рис.11. Схема вакуумной коммутации ВУП-5М: CN - объем рабочий; ND - насос

27

диффузионный: NL - насос форвакуумный; BF - баллон форвакуумный; VI…V8 - клапаны коммутации вакуумной системы; PI, Р2. Р4 - датчики термопарныеПМТ-2; РЗ - датчикионизационныйПМИ-2