Казанский

Л И Т Е Р А Т У Р А

1. Х.Риссел, И.Руге. Ионная имплантация. - М.: Наука, 1983. - 360 с.

2. И.А.Аброян, А.Н.Андронов, А.И.Титов. Физические основы элек-

тронной и ионной технологии. - М.: Высшая школа, 1984.-320с.

3. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М.

Введение в физику поверхности. М.: Наука, 2006. – 490 с.


4. А.И.Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнология.

М.: ФИЗМАТЛИТ, 2005.- 416 с.

5. Н.Г.Рамбиди, А.В.Березкин. Физические и химические осно-

вы нанотехнологий. – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2009.- 456 с.

6. Ионный ускоритель ИЛУ-3. Техническое описание.

Сост.:В.М.Гусев, С.М.Нафтулин, Н.И.Соколов.- М.-1968.

7. Головин Ю.И. Введение в нанотехнологию. М.: Изд-во Машино-

строение-1, 2003.

8. В.Ф.Попов, Ю.Н.Горюнов. Процессы и установки электронно-

ионной технологии. - М.: Высшая школа, 1986. - 255 с.

9. Пул Ч., Оуэнс Ф. Нанотехнологии.- М.: Техносфера, 2004.- 328 с.

88