Казанский

КАЗАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Физический факультет

Петухов В.Ю., Гумаров Г.Г.

ИОННО-ЛУЧЕВЫЕ МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ

ПЛЕНОК

(учебно-методическое пособие к практикуму по физике

поверхности и тонких пленок)

Издание второе, исправленное и дополненное

Казань 2010

1

Печатается по решению Редакционно-издательского совета Физического

факультета Казанского государственного университета

УДК 539.21:539.12.04

Петухов В.Ю., Гумаров Г.Г. ИОННО-ЛУЧЕВЫЕ МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК. Учебно-методическое пособие для студентов физического факультета // Казань, 2010.- 87 с. Издание 2-е, исправленное и дополненное.
http://www.ksu.ru/f6/k5/bin_files/petukhov_ibm!33.pdf

Методическое пособие предназначено для студентов четвертого курса, присту-пивших к изучению спецкурса «Физика поверхности и тонких пленок». Во введении содержатся краткие сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрены также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рас-смотрены принципы действия и конструкции установок для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном токе и с использованием ВЧ-распыления, и ионно-лучевому синтезу. Далее приведено описание лабораторных работ и порядок их выпол-нения.
Издание второе, исправленное и дополненное. Подготовлено для опубликования в электронном виде.

Рецензент: Таланов Ю.И. д.ф.-м.н., в.н.с. лаборатории Физики перспек-тивных материалов Казанского физико-технического института КазНЦ РАН

 Физический факультет Казанского государственного университета, 2010

2