Казанский

В. Образование сетчатой структуры

По мере роста островков тенденция к тому, что после срастания они

становятся совершенно круглыми, уменьшается. Островки вытягиваются и

стремятся образовать непрерывную сетчатую структуру, в которой кон-

денсированный материал разделен длинными узкими каналами неправиль-

ной формы шириной от 5 до 20 нм. Затем в каналах образуются мостики, с

которых начинается быстрое заполнение канала. Процессы быстрого ис-

13

чезновения каналов аналогичны процессам, происходящим в жидкости, и

являются проявлением одного и того же физического эффекта, а именно,

минимизации полной поверхностной энергии нарастающего материала пу-

тем ликвидации областей с высокой кривизной поверхности (см. Рис.6.в).

Г. Формирование сплошной пленки

В процессе роста пленки, особенно при коалесценции, происходят за-

метные изменения ориентации островков. Это особенно важно для эпитак-

сиального роста пленок. Общий механизм роста поликристаллических сло-ев похож на механизм роста эпитаксиальных пленок¹, за исключением то-го, что срастающиеся островки в этом случае имеют произвольную отно-сительную ориентацию, подчиняющуюся случайному закону распределе-ния. Основным фактором, определяющим размер зерен в готовой пленке, является не первоначальная концентрация зародышей, а процесс рекри-сталлизации, происходящий при коалесценции зародышей или островков.