Казанский
Download 1.94 Mb.
|
15 petukhov ibm
Стадии процесса роста пленки
При рассмотрении процесса роста пленки обычно выделяют 4 стадии. А. Образование островковой пленки Зародыши, обычно возникающие в результате флуктуационных про- цессов, растут в трех измерениях, однако рост в направлениях, параллель- ных подложке, происходит быстрее, чем по нормали. Это объясняется тем, что рост происходит, в основном, за счет поверхностной диффузии адато- мов по подложке, а не за счет прямого соударения с атомами в паровой фа- зе. Б. Коалесценция островков Коалесценция (срастание) зародышей характеризуется уменьшением полной площади проекции зародышей на подложку и увеличением их по высоте. Схема коалесценции островков приведена на Рис.5. Процесс коалесценции подобен процессам слияния капель в жидко- сти: он приводит к увеличению свободной поверхности подложки, образо- ванию вторичных зародышей между островками и, соответственно, к уменьшению общей поверхности островков, участвующих в их слиянии. Рис.5. Схема изменения формы сферических островков в процессе коалесценции 12 Основным механизмом переноса массы при коалесценции является поверхностная диффузия, которая проявляется тем сильнее, чем меньше частицы. Движущей силой коалесценции является результирующее уменьше- ние поверхностной энергии. Если поверхностная энергия не зависит от ориентации кристалла, площадь поверхности будет стремиться умень- шиться до минимума. Дополнительное уменьшение свободной энергии при коалесценции может происходить за счет образования граничных плоско- стей с предпочтительной кристаллографической ориентацией, что приво- дит к образованию островков с хорошо развитой кристаллографической огранкой (см. Рис.6а и б). Рис.6. Электронные микрофотографии последовательного роста плен-ки золота во время коалесценции и после нее Download 1.94 Mb. Do'stlaringiz bilan baham: |
Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling
ma'muriyatiga murojaat qiling