BTlar asosidagi IMSlarni tayyorlash. BTli IMSlar elementlari
(tranzistorlar, diodlar, rezistorlar, kondensatorlar) asosini n
+
– p – n tuzilma tashkil
etadi.
IMS tayyorlash uchun planar, planar – epitaksial texnologiyalardan
foydalaniladi. Planar texnologiyada elementlar р – yoki n – turli yarimo‘tkazgich
asosda hosil qilinadi. Planar – epitaksial texnologiyasida elementlar asos sirtiga
o‘stirilgan epitaksial qatlamda hosil qilinadi.
Texnologiya asosni (epitaksial qatlamni) navbatma – navbat donor va
akseptor kiritmalar bilan legirlashga asoslanadi, natijada sirt tagida turli
o‘tkazuvchanlikka ega yupqa qatlamlar va qatlamlar chegarasida р–n o‘tishlar hosil
bo‘ladi. Alohida qatlamlar rezistorlar sifatida, р–n o‘tishlar esa diod va tranzistor
tuzilmalari sifatida ishlatiladi. Kondensatorlar sifatida teskari siljitilgan р–n o‘tishlar
xizmat qiladi.
Integral rezistorlar. Integral rezistorlar tranzistorlarning baza yoki emitter
sohasini hosil qilish operatsiyasi bilan bir vaqtda tayyorlanadi. Rezistor qarshiligi
berk holatdagi р–n o‘tish chegarasi bilan cheklangan qatlamning hajmiy
qarshiligidan iborat bo‘ladi.
Emitter soha asosida qarshiligi 3÷100 Om bo‘lgan kichik qarshilikli
rezistorlar hosil qilinadi, chunki emitter qatlamning solishtirma qarshiligi kichik
bo‘ladi.
Katta qarshilikli rezistorlar nisbatan katta solishtirma qarshilikka ega baza
qatlamda tayyorlanadi. Bunday rezistorlarning maksimal qarshiligi 200÷300 kOm
bo‘ladi.
Integral kondensatorlar. Integral kondenstorlar hosil qilish uchun ixtiyoriy
р–n o‘tish: kollektor – asos, baza – kollektor, emitter – baza, yashirin n
+
- qatlam –
izolyatsiyalovchi р – soha ishlatilishi mumkin. Teskari siljitilgan р–n o‘tishning
baryer sig‘imi berilayotgan kuchlanishga bog‘liq bo‘ladi. Ko‘p hollarda kollektor
o‘tish sig‘imi ishlatiladi.
Do'stlaringiz bilan baham: |