Mavzu: Magnit datchik yordamida eshiklarni ochish qurilmasini loyihalash

Chastota siljishini sezish [ tahrirlash ]

Lorentz kuchiga asoslangan MEMS magnit maydon sensorining yana bir turi ma'lum mexanik tuzilmalarga qo'llaniladigan Lorentz kuchi tufayli mexanik rezonansning siljishidan foydalanadi.
Sunier va boshqalar. ^[11] kavisli tayanch qo'shish orqali yuqorida aytib o'tilgan U shaklidagi konsol nurining tuzilishini o'zgartiring. Piezorezistiv sezgir ko'prik ikkita isitish rezistorlari o'rtasida yotqizilgan. Tuzilmaning rezonans chastotasini aniqlash uchun sezgir ko'prikning chiqish kuchlanishining chastotali javobi o'lchanadi. E'tibor bering, ushbu sensorda alyuminiy lasan orqali oqadigan oqim doimiydir. Mexanik struktura aslida rezonansda isitish qarshiligi tomonidan boshqariladi. U shaklidagi nurda qo'llaniladigan Lorentz kuchi nurning rezonans chastotasini o'zgartiradi va shu bilan chiqish kuchlanishining chastotali javobini o'zgartiradi. Xabar qilingan sezuvchanlik 60 kHz/T, ruxsati 1 mkT.
Bahreyni va boshqalar. ^[12] kremniy substrat ustiga taroqsimon shaklli konstruksiya yasadi. Markaziy moki tashqi magnit maydon qo'llanilganda harakatlanuvchi strukturaning ichki kuchlanishini o'zgartirish uchun ishlatiladigan ikkita qisqichli qisqichli o'tkazgichga ulangan. Bu taroq barmoq tuzilishining rezonans chastotasining o'zgarishiga olib keladi. Ushbu sensor chiqish signalini o'lchash uchun elektrostatik transduktsiyadan foydalanadi. Vakuum muhitida yuqori mexanik sifat omili (Q = 15000 @ 2 Pa) tuzilishi tufayli xabar qilingan sezuvchanlik 69,6 Gts/T ga yaxshilanadi. Hisobot qilingan o'lchamlari 217 nT.

Optik sezish [ tahrirlash ]

Optik sezish tashqi magnit maydonni topish uchun MEMS strukturasining mexanik siljishini bevosita o'lchashdir.
Zanetti va boshqalar. ^[13] ksilofon nurini yasagan. Markaziy o'tkazgich va ksilofon nurlari orqali o'tadigan oqim Lorents kuchi induktsiya qilinganda buriladi. To'g'ridan-to'g'ri mexanik siljish tashqi lazer manbai va detektor bilan o'lchanadi. 1 nT o'lchamlariga erishish mumkin. Wickenden ^[14] ushbu turdagi qurilmaning oyoq izini 100 marta qisqartirishga harakat qilgan. Ammo 150 mkTning ancha past ruxsati haqida xabar berilgan.
Keplinger va boshqalar. ^[15] [16] tashqi lazer manbasidan foydalanish oʻrniga optik zondlash uchun LED manbasidan foydalanishga harakat qilishgan. Optik tolalar silikon substratda siljishni sezish uchun turli xil tartibga solingan holda tekislangan. 10 mT o'lchamlari haqida xabar berilgan.
Jon Ojur Dennis, ^[17] Faruk Ahmad, M. Xaris Bin Md Khir va Nor Hisham Bin Hamid tomonidan ishlab chiqarilgan CMOS-MEMS sensori lateral yo'nalishda (birinchi rezonans rejimi) rezonanslash uchun mo'ljallangan mokidan iborat. Tashqi magnit maydon mavjud bo'lganda, Lorentz kuchi mokini lateral yo'nalishda harakatga keltiradi va rezonans amplitudasi optik usul yordamida o'lchanadi. Rezonansli moki amplitudasining differentsial o'zgarishi tashqi magnit maydonning kuchini ko'rsatadi. Datchikning sezgirligi statik rejimda 10 mA oqim moki orqali o'tganda 0,034 mkm / mT, 8 mA tokda 1,35 mkm / mT qiymati bilan rezonansda yuqoriroq ekanligi aniqlangan. Nihoyat, sensorning o'lchamlari 370,37 mkT ekanligi aniqlandi.