Mavzu: Plazma Reja: Plazma Plazma tarkibi

Oyoqli katodlar



Ichki qavat elektrod geometriyalaridagi niqoblar mavjudligi "qo'shimcha" oqimga olib kelishi mumkin - ichi bo'sh katot manbalarida qo'llaniladigan bo'shliq katodli oqim (HCD). Ichki salbiy elektrod (katod) va kattaroq elektrod (anote) bo'lgan ikki elektrod tizimida HCD katod ichidagi bo'shliqda katod bilan anote orasidagi "oddiy" oqim bilan bir vaqtning o'zida paydo bo'lishi mumkin, agar qarama-qarshi masofa bo'shliqdagi devorlar taxminan salbiy porlashning kengligi bilan tengdir. HCD ning kelib chiqishi, katod devoridan chiqadigan energetik elektronlar, niqobni teskari devorga qarab tezlashganda bo'shliq katod ichidagi elektronlarning ajralmas qismidir. Qarama-qarshi tomonda bir xil, bir-biriga qarama-qarshi bo'lgan elektr maydoniga o'xshash niqobga kirganlarida ular orqaga qaytariladi. Elektronlar tuzoqqa tushib, oppoq niqoblar orasidan salqinlashadi. Ushbu mexanizm "ichi bo'sh katotli effekt" deb ataladi. Ushbu tebranishlarda elektronlar gaz atomlari bilan inelastik to'qnashuvlarga duch kelishi va katod ichidagi juda zich plazma beruvchi ionlash ehtimoli oshirishi mumkin. Ushbu plazma gazni tortib, katoddan chiqarib tashlanadi. Ichki qavat katot, shuningdek, radio chastotasi bilan ta'minlanadi. Elektronlar bir chastotani siklida ko'p marta sal turishi mumkin, bu esa yuqori plazma zichligiga ega. Ichki katodlar turli geometriyalarga ega bo'lishi mumkin: naychalar, quvurlar majmuasi yoki parallel plitalar (chiziqli ichi bo'sh katot).