MDYA – tranzistorlar ichida metal – nitrid kremniy – dielektrik – yarimo’tkazgich (MNDYA) tranzistorlar alohida o’rin tutadi. Bunday tranzistorlar xotira elementi rolini bajaradi va qayta dasturlanuvchi xotira qurilmalar asosini tashkil etadi. MDYA – tranzistorlar ichida metal – nitrid kremniy – dielektrik – yarimo’tkazgich (MNDYA) tranzistorlar alohida o’rin tutadi. Bunday tranzistorlar xotira elementi rolini bajaradi va qayta dasturlanuvchi xotira qurilmalar asosini tashkil etadi. a) b) MNDYA – tranzistor tuzilmasi (a) va stok zatvor VAXi (b) Ushbu tranzistor dielektrigi ikki qatlamdan: qalinligi 2÷5 nm ni tashkil etuvchi Si va kremniy oksidi ustiga purkalgan 0,05÷0,1 mkm qalinlikdagi S kremniy nitrididan tashkil topgan.
http://fayllar.org
Do'stlaringiz bilan baham: |
