Методы выращивания монокристаллов

Физическая конденсация. Метод молекулярных пучков
Схема метода молекулярных 
пучков в вакууме: 1-кристаллизационная 
камера, 2-испаряемое вещество, 
3-
нагреватель, 4-подложки 

---

Усовершенствованная разновидность метода запаянной
ампулы.
При
катодном
напылении
между
катодом
и
параллельным ему заземленным анодом, на котором
размещаются подложки, пропускают разряд.
В среде инертного газа при давлениях 10
-3
-10
-1
мм рт. ст.
и расстояниях катод-анод 2-4 см разряд разгорается при
разности потенциалов 500-5000 в.
Ударяющие о катод ионы газа, выбивают из него атомы
путем передачи импульса.
Эти атомы электрически нейтральны и достигают анода
и подложек, практически не соударяясь с газовыми
молекулами, где и конденсируются.
Кристаллизация из газовой фазы
Физическая конденсация. Метод катодного напыления
Схема катодного напыления: 
1-
катод; 2- подложка; 3-анод; 4-инертный 
газ; стрелками показаны напуск газа и 
откачка 

---

Динамическмй метод
.
В этом случае вещество
переносится из одной зоны в другую потоком
инертного
газа.
По
направлению
потока
располагается сначала более нагретая зона
источника, а затем зона кристаллизации с
подложкой или без нее.
В
динамическом
методе
кристаллизацию
ведут, как правило, на затравке.
В
случае
квазистатического
метода
кристаллизация
осуществляется
не
в
запаянных
ампулах,
а
в
разборных
кристаллизационных
камерах,
куда
под
повышенным
давлением
подают
газ
(
как
правило, инертный), и в таком состоянии
«
подпирающего»
давления
проводят
кристаллизацию.
Кристаллизация из газовой фазы