Moskva aviatsiya instituti (Milliy tadqiqot universiteti)

Polimer plyonkalarni qoplash uchun vakuum uskunalari.

V-2000-IP-R vakuumli shlyuzni o'rnatish polimer plyonkada keng turdagi qoplamalarni avtomatik rejimda birlashtirilgan usullar bilan qo'llash uchun mo'ljallangan.
Vakuum plyonkali qoplama mashinasining tarkibi

• 
  purkash uchun plyonka yuklash (tayyorlash) moduli. Modul plyonkani dastlabki tozalash va gazsizlantirish uchun mo'ljallangan;
  
• 
  ishlaydigan vakuum kamerasi. Ish kamerasida oxirgi tozalash, plyonkani planar ion manbai bilan qayta ishlash va ma'lum bir texnologiyaga muvofiq planar magnetronlar tomonidan kerakli qoplamalarni joylashtirish amalga oshiriladi. Ish kamerasida qayta o'rash moslamasi, tekis dizayndagi etti magnetron, isitish elementlari, bosimni boshqarish uchun sensorlar, plazma spektri, spektrometrik tizim mavjud;
  
• 
  Vakuum tizimi yuqori samarali yuqori vakuumli nasoslar va vakuumdan oldingi birliklardan iborat. Vakuumni o'rnatish plyonkani yuklash (tayyorlash), tushirish va to'g'ridan-to'g'ri ish kamerasida modullarda kerakli bosimga erishishni ta'minlaydi;
  
• 
  tushirish moduli yoki (film chiqishi) bosim va harorat parametrlarini barqarorlashtirish uchun mo'ljallangan;
  
• 
  ion manbai 0-800 eV energiyaga ega bo'lgan argon ionlari bilan kino sirtini tozalash, faollashtirishni ta'minlaydi. Anod kesimidagi ion nurining o'lchami 1400x100 mm. Oddiy bo'ylab ish joyining substratgacha bo'lgan masofasi 0-400 mm;
  
• 
  planar magnetronlar. Nishon o'lchami 1400x80 mm. Kamera 7 tagacha magnetronni joylashtirish imkonini beradi;
  
• 
  qayta o'rash plyonkaning yuklanish joyidan shlyuz orqali va o'rash tamburiga avtomatik harakatlanishini ta'minlaydi;
  
• 
  plazma tahlili va texnologik gaz oqimini nazorat qilish uchun qurilma texnologik parametrlarning barqarorligini va qoplamalarni olish jarayonining takrorlanishini ta'minlaydi;
  
• 
  qoplamalar qalinligini nazorat qilish uchun spektrometrik tizim kompyuter monitorida xarakteristikalar chiqishi bilan avtomatik rejimda qoplamalarni boshqarishni ta'minlaydi;
  
• 
  quvvat rafi magnetron va ion manbalarini va boshqa aktuatorlarni quvvatlantirish uchun mo'ljallangan;
  
• 
  nazorat stendi qoplamaning texnologik jarayonini avtomatik ravishda amalga oshirishni ta'minlaydi. Boshqaruv stendiga nasos regulyatorlari, harorat sozlagichlari, plazma tahlil qilish moslamalari, spektrometr, qoldiq bosimni o'lchash moslamasi va boshqalar kiradi.