Moskva aviatsiya instituti (Milliy tadqiqot universiteti)

Olmosga o'xshash DLC qoplamalarini qo'llash uchun vakuum o'rnatish tarkibi :

• 
  kamera o'lchamlari:
  

• 
  diametri, mm - 500-2000;
  
• 
  balandligi yoki uzunligi, mm - 500-2500;
  
• 
  vertikal va gorizontal bajarishning vakuum kameralari;
  

• 
  turbomolekulyar nasos;
  
• 
  forevakuum birligi;
  
• 
  forevakuum klapanlari;
  
• 
  pnevmatik silindrli yuqori vakuumli havo qulfi;
  
• 
  elektron ateşleme va kommutatsiya quvvat manbalari bilan ajratilgan plazma manbalari;
  
• 
  kommutatsiya quvvat manbai bilan ion gaz manbai;
  
• 
  Siemens'dan nazorat qilish va haroratni nazorat qilish bloki bilan substrat isitish tizimi;
  
• 
  SMC, FESTA gidravlik tizimi;
  
• 
  pnevmatik tizim SMC, FESTA;
  
• 
  sirtni tozalash va qoldiq muhitni tahlil qilish uchun sifat nazorati tizimi PPC 1000;
  
• 
  gaz oqim o'lchagichlarini qochqinlar to'plami bilan qayta ishlash;
  
• 
  boshqaruv bloki va aylanma haydovchiga ega texnologik uskunalar to'plami;
  
• 
  vakuum o'lchagich;
  
• 
  quvvat tokchasi;
  
• 
  kontaktsiz haroratni nazorat qilish moslamasi.
  

5.2. Himoya, dekorativ va korroziyaga chidamli qoplamalarni qo'llash uchun vakuum uskunalari.
Himoya va dekorativ qoplamalarni qo'llash uchun vakuumli o'rnatish bir necha turdagi texnologik manbalarni o'z ichiga oladi. Past haroratlarda turli xil materiallardan tayyorlangan mahsulotlarga keng rangdagi qoplamalarni qo'llash imkonini beradi.
Metall substratning sirtini tayyorlash uchun, ayniqsa dekorativ qoplamalar uchun, elektrolitik-plazmali polishing (EPP) birliklari qo'llaniladi, ular sirt sifatini 2-3 sinfga oshiradi (pürüzlülüğü kamaytiradi), shu bilan yuqori xususiyatlarga ega qoplamalarni ta'minlaydi.
Vakuumli qoplama mashinasining xususiyatlari:

• 
  vakuum kamerasining o'lchamlari: - diametri 500-2000 mm;- balandligi yoki uzunligi 500-2500 mm;-
  vertikal va gorizontal vakuum kameralari ;
  
• 
  vakuum tizimi turli evakuatsiya vositalari yordamida qurilishi mumkin.
  
• 
  texnologik manbalar:
  - vakuumli yoy bug'latgichlar ;
  - ion manbalari ;
  - magnetronli püskürtme tizimlari ;
  
• 
  sayyora tipidagi texnologik jihozlar;
  
• 
  yuqori vakuumli havo qulfi;
  
• 
  azot tuzog'i;
  
• 
  vakuum klapanlari;
  
• 
  quvvat manbalarini almashtirish;
  
• 
  boshqaruv va quvvat rafi;
  
• 
  estrodiol vakuum o'lchagich;
  
• 
  ishlaydigan gazlar oqimini avtomatik boshqarish tizimi;
  
• 
  gidravlik va pnevmatik tizimlar.
  

Himoya va dekorativ qoplamalarni qo'llash uchun vakuumli o'rnatish shaxsiy kompyuter nazorati ostida berilgan dasturga muvofiq qo'lda ham, avtomatik rejimda ham ishlashi mumkin.
O'rnatishni kichik modernizatsiya qilish, Buyurtmachining iltimosiga binoan, olmosga o'xshash (DLC) qoplamalarni qo'llashni ta'minlashi mumkin.

3.