O‘zbekiston milliy universiteti huzuridagi yarimo‘tkazgichlar fizikasi va mikroelektronika ilmiy-tadqiqot instituti

НАУЧНЫЙ СОВЕТ DSс.03/30.12.2019.FM/T.01.12 ПО ПРИСУЖДЕНИЮ УЧЕНЫХ СТЕПЕНЕЙ ПРИ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОМ институте ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НАЦИОНАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА УЗБЕКИСТАНА
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОМ институте ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И МИКРОЭЛЕК -ТРОНИКИ НАЦИОНАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА УЗБЕКИСТАНА
Сайфуллоев Шохрух амин угли
ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ FеSi₂ И CоSi₂ НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННЫМ ЛЕГИРОВАНИЕМ
01.04.10 – Физика полупроводников
АВТОРЕФЕРАТ ДИССЕРТАЦИИ ДОКТОРА ФИЛОСОФИИ (PhD)
ПО физико-математическим НАУКАМ
Научный руководитель:
доктор физико-математических наук, профессор
Эгамбердиев Бахром Эгамбердиевич
Ташкент – 2023