На
правах рукописи
Шевцов Дмитрий Валентинович
РАЗРАБОТКА СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО КОМПЛЕКСА ДЛЯ
ПОЛУЧЕНИЯ И IN SITU ИССЛЕДОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР
МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ МАГНИТООПТИЧЕСКОЙ
ЭЛЛИПСОМЕТРИИ В ШИРОКОМ ТЕМПЕРАТУРНОМ ДИАПАЗОНЕ
Специальность 01.04.01 – Приборы и методы экспериментальной физики
АВТОРЕФЕРАТ
диссертации на соискание учёной степени
кандидата
технических наук
Красноярск – 2019
2
Работа выполнена в Лаборатории физики магнитных явлений Института физики им.
Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук – обособленного
подразделения Федерального государственного бюджетного
научного учреждения
«Федеральный исследовательский центр «Красноярский научный центр Сибирского
отделения Российской академии наук» (ИФ СО РАН)
Научный руководитель:
Варнаков Сергей Николаевич, д. ф.-м. н., доцент,
заместитель
директора
по
научной
работе
Федерального
государственного
бюджетного
учреждения науки Института физики имени Л.В.
Киренского
Сибирского
отделения
Российской
академии наук – обособленного подразделения ФИЦ
КНЦ СО РАН
Официальные оппоненты: Пронин Игорь Иванович, д. ф.-м. н., старший
научный сотрудник, заведующий лабораторией Физики
элементарных структур на
поверхности Физико-
технического института им. А.Ф. Иоффе РАН,
г.
Санкт-Петербург
Семёнов Валентин Георгиевич, д. ф.-м. н.,
профес-
сор, заместитель заведующего кафедрой аналитической
химии
Института
химии
Санкт-Петербургского
Государственного Университета, г. Санкт-Петербург