Содержатся ответы на вопросы: (1) о чём говорится в первоисточнике и (2)

Определение эквивалентного срока хранения кремниевых 
эпитаксиальных структур методом ускоренных испытаний 
Аннотация 
Предложена методика проведения ускоренных испытаний хранения 
эпитаксиальных кремниевых структур. Проведены испытания с целью 
определения 
эквивалентного 
срока 
хранения, 
предложен 
метод 
постэпитаксиальной химической обработки, а также проверен уровень 
чистоты используемой тары. Определено, что используемая тара 
соответствует заданному уровню чистоты, а основным источником 
прироста загрязнений на этапе хранения является обратная сторона 
структур, 
вследствие 
чего 
необходимость 
постэпитаксиальной 
химической обработки, позволяющей исключить прирост частиц во время 
хранения, была подтверждена.