Suv bug’ida

7 - rasm. Tetraetoksisilannni (TEOS) pirolizlash jarayonida kremniy

oksidining o’sish kinetikasi:
x 
_SiO<sub>2


f</sub> (t)_.

19

Kremniy to’rt oksid hosil bo’lishida reaksiya o’tishi uchun tashqi qizdirishning zarurati yo’q, biroq yuqori sifatli kremniy oksidi pardasini olish uchun jarayon da olib boriladi.

Bu jarayonlarni o’tkazish uchun boshlang’ich moddalar bo’lib monosilan argon yoki azot (gaz–tashuvchi) va kislorod aralashmasidan foydalaniladi. Kuchli inerg gaz bilan aralashtirilgan silan (3÷10 %) keng oraliq temperaturada kremniy to’rt oksidni o’tirish tezligi 10-50 nm/min ga erishish mumkin.
Kisloroddan tashqari oksidlovchi sifatida kislorod mavjud birikmalar lardan foydalanish ham mumkin.
Yuqoridagi usulda olingan parda plastinka sirti bo’ylab qalinligi bo’yicha tekis, kimyoviy tarkibi barqaror va diffuziya jarayonini o’tkazishda yaxshi niqob xossasiga ega. Bu usulda olingan pardaning asosiy xususiyatlaridan biri, ularda yedirish tezligining ancha yuqoriligidir.