Suv bug’ida

SUV BUG’IDA KREMNIYNI TERMIK OKSIDLASH

Kremniy sirtida yuqori tozalikdagi (10 ÷ 20 MOmּsm tartibda) himoyaviy dielektrik parda olish uchun suv bug’ida termik oksidlanishdan foydalaniladi (4-rasm). Bug’ miqdori reaksiya tezligini chegaralamaganda, suv bug’i bilan kremniyning yuqori temperaturadagi reaksiyalaridan foydalaniladi. Suv bug’lari partsial bosimni ushlab turish uchun kremniy plastinkalar sirtida suvni qizdirib turish kerak. Oksid pardani tuzilmali shakllanishi kremniy sirtida oksid qatlam orqali suvni diffuzion ko’chishi hisobiga bo’ladi. Oksid pardani tuzilmali shakllanishi kremniy sirtiga oksid qatlam orqali suvni diffuzion ko’chishi hisobiga bo’ladi. Oksid pardaning tuzilmali shakllanishiga oksidlanish reaksiya jarayoni natijasida vodorodning paydo bo’lishi va uning plastina ichki tomon diffuziyasi ta’sir ko’rsatadi. Chunki, vodorodning temperaturada diffuziya koeffintsienti bo’lib, suvning shu temperaturada diffuziya koeffitsientidan
ancha yuqori, unda kremniy–oksid chegara qismida gidrooksidlarning paydo bo’lishiga faqat suv molekulalari mavjudligigina emas, vodorodning ham bo’lishligi bilan tushuntiriladi.
Oksidlanish jarayoni dan yuqori temperaturalarda oksid qatlam hosil bo’lishi parabolic qonun bo’yicha, ya’ni = Bt qonuniga mos keladi.
dan past temperaturalarda jarayon quyidagi qonuniyat ko’rinishida ketadi.

.

Oksidlanish temperaturasi qancha kichik bo’lsa, oksid qatlam hosil bo’lish qonuni chizigiylikka yaqin bo’ladi. Oksid qatlam chizig’iy o’sishini temperaturalarda yuqori bosim ostida
suv bug’ida olish mumkin.
Albatta, oksid qatlamning o’sish tezligi taglikning yo’nalashiga, elektrik o’tkazuvchanlikning turiga va namuna taglikdagi kirishmalar konsentratsiyasiga ham bog’liq.

QURUQ KISLORODDA KREMNIYNI TERMIK OKSIDLASH

Quruq kislorodda yuqori temperaturali oksidlash usuli kremniyni oksidlash usullari orasida keng tarqalgan bo’lib (5-rasm), u yuqori sifatli niqob xossasiga va kremniy–oksid chegara qismida bog’langan zaryadlarning kichik zichlikdan, ya’ni dan kam olishni ta’minlaydi.

13