Yarim o’tkazgichlarda kontakt hodisalari

Yarim o’tkazgichlarda kontakt hodisalari

Ҳозирги замон юқори самарали фотоқабуллагичлар ва ҚЭ ишлаб чиқаришда ( асосан кремнийли қуёш элементларда) кўп қатламли контактлар ишлатилади.

Р-тип кристалли кремний асосидаги қуёш элементларида Al, Ti, Pd, Ag (коинотда ишлатиладиган элементларда), п-тип асосидаги учун эса, Ti, Pd, Ag ишлатилади.

технологик жараёнларидан бирини ишлатиш учун аввалига квазиомик ёки омик контакт олиш учун керак бўлган асосий талабларни кўриб ўтамиз:

Title
ионли имплантация, механик ишлов ёки электрик ишлов бериш йўли билан ярим ўтказгичли материал юзасида нуқсонлар ҳосил қилиб, туннел тўсиқлар ҳудудида энергетик ҳолатлар ҳосил қилиш.
3
2
Металл-ярим ўтказгичли материал чегарасида қаршиликни камайтириш учун заряд ташувчиларнинг туннел усули билан оқиб ўтишини таъминлаш мақсадида ўта легирланган чегаравий қатлам ҳосил қилиш;
Термоэлектрон ток оқиб ўтиш механизмини бошқариш учун металлдаги чиқиш иши ФМ ва ярим ўтказгичдаги электронга мойилликнинг муштарак қийматларини танлаб чегарадаги Фб баръер катталигини бошқариш
Кремний қуёш элементининг фронтал контакт кўринишига оид мисол. 1- юзадаги тўрсимон контакт (кўп қатламли + припой), 2 – шаффофлантирувчи қатлам, 3 – легирланган п-типдаги юпқа қатлам (0,2 мкм), 4 – 0,5 мкм қалинликдаги хажмий заряд қатлами, 5 – 200 мкм қалинликдаги база қатлами, 6 – 0,5 мкм қалинликдаги р+ - қатлам, 7 – орқа томондаги контакт қатлами, 8 – ток жамловчи шина, 9 – тўрсимон ток жамловчи шина.
Типик кремний асосидаги қуёш элементига оид энергетик зонали диаграмма; п-қатлам ўлчами катталаштирилган. 1 – орқа томонга яқин қисмдаги электр майдони.
Изланишлар натижаси шуни кўрсатадики, одатда юзада микроскопик катталикдаги тешилган участкалар ҳосил бўлиши мумкин (юпқа диффузион қатламлар олинганда) ва бундай ҳолларда Rш қаршилиги камайиши ва Iо нинг қиймати ортиши мумкин. Бунинг олдини олиш мақсадида контакт олинадиган юзага металл маскалар ёки полимер материалдан қилинган ва контакт расми туширилган фоторезист маскалар ёрдамида ёки аксланишни камайтирувчи қатламлар устига контакт олинади.
Одатда юзага тушаётган нурни йулини тўсмаслик учун юзани тўсиш коэффициентининг катталиги 10 % дан оширмасликка ҳаракат қилиниши керак. Концентрлаштирилган (зичлаштирилган) қуёш нурлари билан ишлайдиган ҚЭ ларда эса юзани тўсиш коэффициенти қуёш нурини зичлаштириш коэффициентига боғлик бўлиб, айрим ҳолларда у 50 % ошиқроқ бўлиши ҳам мумкин.
………………………………………………………………………………………………………..