I. A. Karimov nomidagi tdtu qo‘qon filiali Elektronika va elektr texnikasi fakulteti 20 myamt guruhi talabasi

I.A.Karimov nomidagi TDTU Qo‘qon filiali Elektronika va elektr texnikasi fakulteti
3.20 MYaMT guruhi talabasi.
QURBONOV ABUBAKR ning ,, Nanotuzilmalar va nanomateriallar texnologiyasi asoslari“ fanidan ,, Nanomateriallar tuzilishi va fizik-mexanik xossalarini o‘rganish usullari
” mavzusidan
MUSTAQIL ISHI
REJA
1. O‘lchamli xarakteristikalarni o‘rganish
2. Fazaviy tarkibini, elementlarini va tuzilishini aniqlash.
3. Sirtni o‘rganish usullar
4. Nanomateriallarning fizikaviy-mexanik xossalarini o‘rganish.
 
Ma’lumki, sirt yuzalarda yupqa pardali tuzilmalar mikro-, nano- elektronika va fotoenergetikada keng qo‘llaniluvchi yarimo‘tkazgichli xom ashyolardan biri hisoblanadi. Yupqa pardali tuzilmalar olish asosan gaz holatdagi atom yoki molekulalarni monokristal sirtlarda o‘stirishga asoslangan. Bu texnologiya boshqa turdagi texnologiyalaridan quyidagi tomonlari bilan farqi qiladi:

• termodinamik sharoitlarda yuqori tozalikdagi tarkiblovchi (komponent)lar reaksiyasi va kimyoviy jarayon yuz berishi;
• kirishmalar konsentratsiyasi kam bo‘lishi;
• jarayonni nisbatan tez bajarilishi, bunda turli kirishma yoki boshqalar tomonidan ikkilamchi hodisalarni yuz bermasligini oldini oladi;
• asosiy reaksiya va jarayonlar monokristal taglik sirtida yuz berishi;
• qo‘llanilgan kirishma bo‘yicha ko‘plab ma’lumotlar olish imkoniyatlarini berishi va boshqa tomonlari bilan farq qiladi.

2.9 – rasmda yupqa pardali tuzilmalar olish texnologiyasining soddalashtirilgan sxemasi tasvirlangan. Bu texnologiyaga asosan qo‘llanilgan kirishma (2) sevatcha (1)ga solinadi. Qizdirish spirali (3) elektr manba (4)ga ulanganda kirishmalarning atom va molekulalari gaz holatda bug‘lanadi. So‘ngra, ular monokristal taglik (5) sirtida o‘stiriladi.