Мишьяк атомлари диффузия коэффициентини қуйидаги ифодадан ҳисоблаймиз


Download 39.5 Kb.
bet1/3
Sana13.10.2020
Hajmi39.5 Kb.
#133645
  1   2   3
Bog'liq
амалиёт 4
9-sinf 1-yo'nalish Texnologiya, УЗЕЛ СВЯЗИ Министерство обороны Российской Федерации, 1-sinf-ingliz-tili-konspekt-namuna, 1-sinf-ingliz-tili-konspekt-namuna, 1650695780, 3 mavzu, 乌兹别克录音操作文档(1)

Масала IV. Солиштирма қаршилиги 1 Ом∙см бўлган p – турдаги кремнийга ионларни имплантация қилиш усули билан киритилган мышьяк атомлари 1 соат қиздириш давомида чуқурлиги xJ=0.5 мкм бўлган p – n-ўтиш ҳосил қилиши, кремний сирт қатламидаги мишьяк атомлари концентрацияси С0=1,5∙1020 см-3 га тенг бўлиши учун қандай температурада қиздириш керак. Кремнийга имплантация қилиниши керак бўлган мишьяк атомлари концентрацияси ҳисоблансин.


  1. Солиштирма қаршилиги 1 Ом∙см бўлган p – тур кремнийдаги бор атомлари концентрациясини иловадаги 6.4-расмдан аниқлаймиз: СВ=1,5∙1016 см-3.




  1. Мишьяк атомлари диффузия коэффициентини қуйидаги ифодадан ҳисоблаймиз:





  1. Ҳисобланган мишьяк атомларининг кремнийдаги диффузия коэффициенти қиймати 1070ºС га мос келишини 9.5, α расмдан аниқлаймиз.




  1. Кремнийга имплантация қилинган мишьяк атомларининг сиртий зичлиги (N)ни аниқлашда қуйидаги кремний сирт қатламидаги киришма атомлари концентрацияси (С0)ни ҳисоблаш ифодасидан фойдаланамиз:



Масала V. Солиштирма қаршилиги 1 Ом∙см бўлган p – турдаги кремнийга қилиш усули билан киритилган мышьяк атомлари 1 соат қиздириш давомида чуқурлиги xJ=0.5 мкм бўлган p – n-ўтиш ҳосил қилиши, кремний сирт қатламидаги мишьяк атомлари концентрацияси С0=1,5∙1020 см-3 га тенг бўлиши учун қандай температурада қиздириш керак.

Пример 5. Определить режим диффузии, проводимой в одну стадию при постоянной поверхностной концентрации для условий примера 4.

  1. Распределение примеси описывается erfc – функцией, поэтому воспользуемся ее аппроксимацией (9.6) и формулой (9,7):



На основании (9.7) определим коэффициент диффузии:

Download 39.5 Kb.

Do'stlaringiz bilan baham:
  1   2   3




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2022
ma'muriyatiga murojaat qiling