Мишьяк атомлари диффузия коэффициентини қуйидаги ифодадан ҳисоблаймиз

Масала IV. Солиштирма қаршилиги 1 Ом∙см бўлган p – турдаги кремнийга ионларни имплантация қилиш усули билан киритилган мышьяк атомлари 1 соат қиздириш давомида чуқурлиги x_J=0.5 мкм бўлган p – n-ўтиш ҳосил қилиши, кремний сирт қатламидаги мишьяк атомлари концентрацияси С₀=1,5∙10²⁰ см^-3 га тенг бўлиши учун қандай температурада қиздириш керак. Кремнийга имплантация қилиниши керак бўлган мишьяк атомлари концентрацияси ҳисоблансин.

1. 
   Солиштирма қаршилиги 1 Ом∙см бўлган p – тур кремнийдаги бор атомлари концентрациясини иловадаги 6.4-расмдан аниқлаймиз: С_В=1,5∙10¹⁶ см^-3.
   

2. 
   Мишьяк атомлари диффузия коэффициентини қуйидаги ифодадан ҳисоблаймиз:
   

3. 
   Ҳисобланган мишьяк атомларининг кремнийдаги диффузия коэффициенти қиймати 1070ºС га мос келишини 9.5, α расмдан аниқлаймиз.
   

4. 
   Кремнийга имплантация қилинган мишьяк атомларининг сиртий зичлиги (N)ни аниқлашда қуйидаги кремний сирт қатламидаги киришма атомлари концентрацияси (С₀)ни ҳисоблаш ифодасидан фойдаланамиз:
   

Масала V. Солиштирма қаршилиги 1 Ом∙см бўлган p – турдаги кремнийга қилиш усули билан киритилган мышьяк атомлари 1 соат қиздириш давомида чуқурлиги x_J=0.5 мкм бўлган p – n-ўтиш ҳосил қилиши, кремний сирт қатламидаги мишьяк атомлари концентрацияси С₀=1,5∙10²⁰ см^-3 га тенг бўлиши учун қандай температурада қиздириш керак.

Пример 5. Определить режим диффузии, проводимой в одну стадию при постоянной поверхностной концентрации для условий примера 4.

1. 
   Распределение примеси описывается erfc – функцией, поэтому воспользуемся ее аппроксимацией (9.6) и формулой (9,7):
   

На основании (9.7) определим коэффициент диффузии: