Yupqa plyonkalarni olinish usullari epitaksial plyonkalar va uning fizikasi

---

Yupqa plyonkalarni olinish usullari epitaksial plyonkalar va 
uning fizikasi 
Ilhom Ismatovich Rahmatov 
[e-mail] 
Gulnoza To’ymurod qizi Yodgorova
[e-mail]
Buxoro davlat universiteti 
Annotatsiya: Maqola oliy ta’limning fizika ta’lim yo’nalishida o’rganiladigan 
yupqa plyonka (pardalar) fizikasiga bag’ishlangan. Yupqa plyonkalarning tuzilishi 
ishlash tamoyillari, turlari, ishlatilish sohalari yutuq va kamchiliklari bayon qilingan. 
Kalit so’zlar: Yupqa plyonka, epitaksiya, sublimatsiya, agdeziya, reaktor, 
legirlash, tigel, diffuzion rezistor. 
Methods of obtaining thin films epithelial films and its physics 
Ilhom Ismatovich Rahmatov 
[e-mail] 
Gulnoza To’ymurod qizi Yodgorova
[e-mail]
Bukhara State University 
 
Abstract: The article is devoted to the physics of thin films (curtains) in the field 
of higher education physics. The structure, principles of operation, types, advantages 
and disadvantages of thin films are described. 
Keywords: Thin film, epitaxy, sublimation, adhesion, reactor, alloying, crucible, 
diffusion resistor. 
Yupqa plyonkalar hozirgi paytda fan va texnikaning turli sohalarda qo’llaniladi. 
Yupqa plyonkalarda yuz beradigan fizikaviy jarayonlar massiv kattik moddalarga 
qaraganda muhim rol o’ynaydi. Shuningdek plyonkaning tuzilishi va xossasi massiv 
materiallar strukturasidan farq qiladi. Plyonlarni hosil qilish, shakllantirish jarayonlari 
nafaqat uni o’stirish texnologiyasi, balki uning materialiga va taglikning strukturasiga 
ham bog’liq bo’ladi. Yupqa plyonka tushunchasi ma’lum darajada shartli. Odatda 
yupqa plyonka deganda uning qalinligi 1 mkm. dan ko’p bo’lmagan Yupqa parda 
tushuniladi. Yupqa plyonkalardagi fizik jarayonlarga massiv materialiga qaraganda 
boshqacharoq bo’ladi. Masalan, massiv materiali uchun uncha muhim bo’lmagan 
"Science and Education" Scientific Journal / ISSN 2181-0842
June 2022 / Volume 3 Issue 6
www.openscience.uz
532

---

sirtlarning g’adir - budirligi plyonkalar uchun eng muhim xususiyat hisoblanadi. Bu 
xususiyatlar ularning o’tkazuvchanligiga va kinetik xarakteristikalariga ta’sir etadi. 
Yupqa plyonkalardagi yuzaga keladigan hodisalar, effektlar massiv materiallarda 
kuzatilmasligi mumkin. Jumladan shunday effektga misol qilib granulli plyonkalarda 
elektronlarning tunnellanish hodisasini ko’rsatish mumkin. Yupqa plyonkalarni eng 
muhim xossalaridan biri ularni solishtirma o’tkazuvchanligini o’zgartirish 
mumkinligidir. O’ta Yupqa plyonkalar yaxlit bo’lmay, alohida granulalardan tashkil 
topgan (donador) bo’ladi. Yuqorida aytilganidek, Yupqa plyonkalarning xossalari 
qalin plyonkalarning xossalaridan farq qiladi. Metall dielektrik va metall - o’tkazgich 
tipidagi Yupqa plyonkali kontaktli tizimlar hozirgi zamon mikroelektronikasida keng 
qo’llaniladi. Bunday plyonkali sistemalar xossalarini o’rganish o’ta ishonchli va nozik 
elektron yaratilishiga olib keldi. Masalan, elektron kalitlar, kuchaytirgichlar, generator, 
mantiqiy sxemalar va xokazo. Ular mikroelektronikaning jadal rivojlanishiga turtki 
bo’ldi. Plyonkalar vazifasi, yasalish texnologiyasi, materiali va boshka xususiyatlarga 
qarab turli tiplarga bo’linadi. Masalan, yarim o’tkazgichli, dielektrikli, metalli, massiv 
va hokazo. Metall plyonkalarga qo’yiladigan asosiy talablardan biri ularning 
solishtiradigan o’tkazuvchanligining katta bo’lishligidir. Qo’llaniladigan metall 
plyonkalarning oralig’ida bo’ladi. Metall plyonkalar asosiy oltin, mis, nikel, kalinligi 
2000 - 1000 A oralig’ida bo’ladi. Metall plyonkalar asosan oltin, mis, nikel, alyuminiy, 
molibden, tantal kabi metallardan qilinadi. Rezistorlarni tayyorlashda esa qarshiligi 
katta materiallar (Ni, Ta, Cr)dan foydalaniladi. Bunday metall plyonkalar asosan 
vakuumda termik changlatish usuli bilan olinadi. Yupqa plyonkalarning tarkibi va sifat 
xususiyatlari asosan uni o’stirish paytida taglik haroratiga, vakuum darajasiga, taglik 
materiali va changlatadigan modda xossalariga ham bog’liq bo’ladi. Istalgan 
qalinlikdagi plyonka uchun quyidagi munosabatlar o’rinli bo’ladi:
R = ρl/ad (1) 
m = γlda (2) 
Bunda R - plyonka qarshiligi, m - plyonka massasi, ρ - plyonkaning solishtirma 
qarshiligi, γ - plyonka zichligi, l,d,a - mos holda plyonkaning uzunligi, qalinligi, 
kengligi. (1), (2) dan 
γρ = mR/l (3) 
tavsiya mumkin. Integral mikrosxemada IMS elementlarni yasashda elektrik 
izolyatsiya qatlami sifatida dielektrik plyonkalar qo’llaniladi. Dielektrik plyonkalarni 
hosil qilishda vakuumda termik changlatish, ion - plazmali changlatish va ximiyaviy 
o’stirtirish usullari qo’llaniladi. Taglik - bu plyonka hosil qilinadigan asos bo’lib, 
plyonkaning sifati ana shu taglik holatiga ham bog’liq bo’ladi. IMS larni yasashda 
podlojkalar ikki xil vazifalarni bajaradi:
1. Asos sifatida uning sirti va hajmida IMS strukturasi shakllantiriladi.
"Science and Education" Scientific Journal / ISSN 2181-0842
June 2022 / Volume 3 Issue 6
www.openscience.uz
533

---

2. Podlojkalar IMS larning konstruksiya elementi boʻlib, ularning boʻlib, amaliy 
qoʻllanilishini taʼminlaydi. Tuzilishi va materiali bo’yicha podlojkalar amorf, 
polikristall, monokristall podlojkalarga bo’linadi. Ularni tozalashning ko’p usullari 
mavjud. Yarim o’tkazgichli podlojka yarim o’tkazgichli (taglik) materialdan 
tayyorlangan zagotovka bo’lib, IMS larni yasash uchun xizmat qiladi. Dielektrik 
podojka uchun shisha, keramika, sitall va boshqa materiallar olinadi.
Plyonkalarni hosil qilishning vakuumda termik changlatish hamda kimyoviy gazli 
va suyuq epitaksiyaviy plyonkalar olish usullarini ko’ramiz.
Vakuumda termik changlatish usuli. Plyonka olishning vakuumda termik 
changlatish usulida plyonka yuqori vakuumda moddalarni qizdirib bug’latish yo’li 
bilan hosil qilinadi. Bu usulda yupqa plyonka olish uch bosqichdan iborat :
1) modda atomlari, buglari oqimini hosil qilish uchun moddani buglatish (eritish);
2) atomlar bug’larini vakuum orqali podlojkaga uzatish;
3) podlojkada modda bug’larining kondensasiyalanishi va plyonkali strukturaning 
hosil bo’lishi. 
Vakuumda changlatish usulining moxiyati quyidagicha : vakuumda plyonka hosil 
qilinuvchi modda erish haroraticha qizdiriladi. Natijada u bug’lana boshlaydi. 
Bug’lanayotgan modda oqimining yo’liga podlojka qo’yiladi. Podlojkada (taglikda) 
modda bug’lari kondensasiyalanib, yupqa plyonka strukturasini hosil qiladi. 1-rasm.
Bug’lanish jarayoni quyidagi sxema bo’yicha amalga oshadi: qattiq faza → suyuq 
faza → gazsimon (bug’) faza. Ayrim moddalar suyuq holatga o’tmasdan bug’lana 
boshlaydi
 
1 - rasm. а - spiralli changlatgich; b - elektron nurli changlatgich ; 1- bug’lanadigan 
modda ; molekulyar dasta ; 3 - podlojka; 4 - qizdiriladigan katod ; 5 fokuslovchi 
elektrod; 6 - tezlashtirilgan elektronlar dastasi ; 7 - tigel. 
(Mg, Zn, Kd). Bunday jarayonga sublimasiya deyiladi. Termik changlatish 
usulining sxemasi 1 - rasmda ko’rsatilgan.. Plyonka hosil bo’lishi va uning sifati ko’p 
sifatiga bog’liq Jumladan, moddaning bug’lanish tezligiga ham bog’liq bo’ladi. 
Moddaning bug’lanish tezligi deb, 1 s da moddaning birlik yuzasidan chiqadigan 
(modda miqdori) zarrachalar soniga aytiladi va quyidagi formula bilan aniqlanadi.
k = 1/4 nν (4)
Bu yerda, n - molekulalar konsentrasiyasi, ν - molekulalar tezligi.
"Science and Education" Scientific Journal / ISSN 2181-0842
June 2022 / Volume 3 Issue 6
www.openscience.uz
534

---

Plyonkaning podlojkaga mustahkam yopishib turishi (yopishish kuchi) adgeziya 
deb aytiladi. Agdeziyani oshirish plyonkalar olishda muhim axamiyatga ega. 
Moddalarni eritish elektr toki bilan qizdirgichlar yordamida amalga oshiriladi. 
Qizdirgichlar qiyin eriydigan moddalardan yasaladi. Ular ko’pincha tigel deb aytiladi. 
Tigellarning yasalish konstruksiyalari turlicha bo’lishi mumkin.
Plyonka olishda yuqori vakuum - 10
-6