1. 5-§. Kristallardagi nuqsonlar

DLTS spektrlari o‘lchashlaridan nuqsonlar parametrlarini aniqlash. HZQ da yuzaga keluvchi o‘tish jarayonlar tahlili yarimo‘tkazgich materiallari va asboblarini tadqiqotlarda keng qo‘llaniladi. O‘tish jarayonlarining vaqt doimiylari energiyaviy sathlar, signal amplitudasi esa - band bo‘lgan holatlar zichligi haqida axborot beradi. O‘tish jarayonlari eksponensial qonun bo‘yicha kechadigan jarayonlarni korrelyatsiviy spektroskopiya vositasida tahlili qulaydir. Bunga chuqur sathlar sig‘im nostatsionar spektroskopiyasi – DLTS yaqqol misol bo‘ladi.



5.17-rasm. DLTS qurilma blok sxemasi.

р-n – o‘tish sig‘imining izotermik relaksatsiyasi bevosita sig‘im relaksatsiyasini qayd qilishga asoslangan edi. Ushbu metodda jarayon relaksatsiya vaqti o‘lchanadi. Lang tomonidan 1974-yilda taklif qilingan DLTS korrelyatsiyaviy metod kabi bo‘lib, unda relaksatsiya vaqtini bevosita o‘lchashlar ikki belgilangan vaqtlarda sig‘im farqini temperatura bo‘yicha yoyish (razvertka) bilan almashtirilgan edi.

Ushbu ishda barcha o‘lchashlar avtomatlashgan DLTS qurilmasida amalga oshirildi (5.17-rasm). DLTS signalini o‘lchashlar quyidagicha amalga oshirildi. Yuqori chastotali generator (YUCHG) f = 100 kHz chastotali va 30 mV amplitudali signal to‘la o‘tkazuvchanlik o‘lchash ko‘prigi (MPP-300) ga beriladi. Ko‘prikning bir yelkasiga namuna ulangan bo‘lsa, ikkinchisiga o‘ta aniq qiymatli kondensator va o‘tkazuvchanlikni kompensatsiyalovchi elektron sxema ulangan.
Ko‘prik yelkalar balans -muvozanat farqi selektiv kuchaytirgich (SK) tomonidan kuchaytirilib sinxronlash detektor (SD) ga o‘tadi. Bu sinxrodetektorga yana shu generatordan tayanch chastotasi ham beriladi. Sinxrodetektor ko‘prik yelkalar balans -muvozanat farqi signalini ajratib, uni doimiy sig‘im rejimida sig‘im barqarorlovchi elektron sxemaga yuboradi. Sinxrodetektor signalni yana o‘tkazuvchanlikni barqarorlash sxemasiga beradi.
Doimiy sig‘im rejimini boshqaruvchi sxema kuchlanish relaksatsiya davomida namuna doimiy sig‘imini ta’minlaydi. Doimiy sig‘im boshqarish sxemasidan signal integrator (I) ga beriladi, u signalni qayta ishlab uni DLTS signaliga o‘tkazadi. Qurilma barcha ish rejimlari elektron mantiq sxemasi tomonidan beriladi. Qurilmada relaksatsiya signalini ossillografda kuzatish imkoni mavjud, bu esa qurilmani bir rejimdan



5.18 rasm. Sig‘im o‘lchashlar uchun kriostat sxemasi 1, 2 – sovutgich uchun dyuar idishlari, 3-suyultirilgan azot, 4- metall ekran, 5-o‘lchov zondlari, 6-isitgich, 7-penoplast asos, 8-namuna, 9-nurlantiruvchi diod, 10-ekran

Ikkinchisiga o‘tish vaqtida qurilmani sozlash uchun qo‘llanilishi mumkin. Sxemasi 5.18−rasmda keltirilgan kriostatga harorat datchigi joylashtirilgan, uning yordamida temperatura qayd qilinib, elektr signaliga utkaziladi. DLTS spektrlari ikki koordinatali yozish qurilmasida qayd qilinadi.

Olingan DLTS spektrlarini oddiy holda yoki EVM jumladan DZ-28 da tegishli dasturlar yordamida miqdoriy tahlil qilinadi.