1-dgu uchun malumot Huquq egasi: Бустанов Шерзодбек Якубович (Bustanov Sherzodbek Yakubovich) Hammuallif sifatida

2-DGU uchun malumot


Huquq egasi: Soxibova Zarnigorxon Mutalibjon qizi
Hammuallif sifatida: Xamrakulova Zarnigorxon Farxodjon qizi


Гранулаланган кремний тайёрлаш усули.
Ҳозирги кунда микро ва наноўлчамли гранулланган яримўтказгичлар олишнинг бир қанча технологиялари мавжуд. Нанокукунлар ишлаб чиқаришнинг ўнга яқин физикавий ва кимёвий усуллари амалда кенг қўлланилади [42, 416 б; 49, 284 б], улар ҳақида биринчи бобда кенг тўхталиб ўтилган. Улар орасида кукунли технология бошқаларидан, масалан, зол-гел, молекуляр нур ёки бошқа технологияларга нисбатан соддалиги, мураккаб технологик жараёнларни талаб қилмаслиги билан ажралиб туради. Кукун технологияси ёрдамида исталган турдаги кристаллар ва улар асосида яратилган, ишлаш муддатини ўтаган ҚЭ лари ҳамда бошқа турдаги яримўтказгичларни кукунсимон ҳолатга келтириш мумкин. Гранулланган кремний кукунлари тайёрлашда дастлабки хомашё сифатида сиртига Е30 кэВ энергия ва D10¹³ см^-2 миқдорда мас-сепаратор ионли тезлатгич қурилмаси ёрдамида Na ва Cs ишқорий металл атомлари киритилган [95, 34 б], 3001000 К ва 10^-6 Торр вакуум шароитида термик ишлов берилган п - типли тайёр ҳолатдаги поликристалл кремний пластиналаридан фойдаланилган.
Дастлабки хомашё, яни Na ва Cs ишқорий металл атомлари киритилган п - типли поликристалл кремний пластиналари планетар тегирмон ёрдамида майдаланган бўлиб, унинг механоактиватор схемаси 2.1.3.1 – расмда тасвирланган:

2.1.3.1 – расм. Планетар шар тегирмонининг механоактиватор схемаси.1 – реактор; 2 – ташувчи; 3 – майдаловчи қисм (шарлар); 4 – сувли совитиш тизими; Д – айланишлар сонини бошқарувчи электродвигатель.
Планетар тергирмон иккита ишчи ҳажмга эга, (2.1.3.1-расм), уларни шартли равишда цилиндр шаклидаги «реакторлар» 1 деб атаймиз, дастлаб вертикал ўрнатилган шар шаклидаги майдаловчи қисм 3 деб номланувчи ишчи ускуна кремний материали билан тўлдирилади. Планетар тергирмонининг энг мухим қисми бу механоактиватор, у ташувчи 2 билан бирлаштирилган электродвигатель ҳамда реакторлар 1 ўрнатилган корпус билан жихозланган. Двигатель ташувчини 2 айланма харакатга келтиради ва унга бириктирилган қисқичлар реакторларни айланма харакатда тортади. Ташувчи 2 нинг тезлиги 6851200 айл/мин гача ўзгариши мумкин. Марказдан қочма куч хисобига реакторлар 1 йўналиш бўйича сиқилади ва сиртга ишқаланиш хисобига ўз ўқи атрофида айлана бошлайди. Механоактиваторнинг конструксияси реакторлар 1 юзасини сув билан совутишни 4 таьминлайди. Бу ҳолда реакторга сувнинг кириши реакторнинг охири ва қопқоғи орасига эластик қистирмани герметик қўйиш орқали чиқариб ташланади. Сувли совутиш тизими 4 реактордаги хароратни пасайтиришга ёрдам беради ва уларни хизмат муддатини узайтиради. Майдаловчи шарлар 3 массасининг ишлов берилган материал массасига нисбати 1:10 га тенг. Механоактиваторни ишга туширишдан олдин, реакторлар ±1 г аниқлик билан мувозанатлаштирилган.