1-labaratoriya ishi topshirdi: B. A. Nurmatov Qabul qildi: G. Jamolova

Pardalar hosil qilish. Pardalar IS elementlarini elektr jihatdan ulash hamda rezistorlar, kondensatorlar va gibrid ISlarda elementlar orasidagi izolyatsiyani amalga oshirish uchun qo‘llaniladi. Misol tariqasida metallashni – kristall yoki asos sirtida metall pardalar hosil qilish jarayonini ko‘rib chiqamiz. Metallash uchun oltin, nikel, kumush, alyuminiy va Cr-Au, Ti-Au va boshqalar ishlatiladi.
Kremniy asosidagi IMSlarda metallashni amalga oshirish uchun asosan alyuminiydan foydalaniladi. Metallash jarayoni yarimo‘tkazgich plastina hajmida sxema elementlari hosil qilingandan so‘ng amalga oshiriladi.
Plastinalarni kristallarga ajratish va yig‘ish operatsiyalari. Barcha asosiy texnologik operatsiyalar bajarib bo‘lingandan so‘ng, yuzlarcha va undan ko‘p ISlarga ega plastina alohida kristallarga bo‘linadi.
Plastinalar lazer skrayber yordamida, ya’ni tayyorlangan ISlar orasidan lazer nurini yurgizib kristallarga ajratiladi. Ishlatishga yaroqli kristallar qobiqlarga o‘rnatiladi, bunda kristal avval qobiqqa yelimlanadi yoki kavsharlanadi. So‘ng kristal sirtidagi kontakt yuzachalar qobiq elektrodlariga ingichka (ø 20÷30 mkm) simlar yordamida ulanadi.
Simlar ulanayotganda termokompressiyadan foydalaniladi, ya’ni ulanayotgan sim bilan kontakt yuzachasi yoki mikrosxema elektrodi 200÷300 0S temperaturada va yuqori bosimda bir – biriga bosib biriktiriladi. Montaj operatsiyalari tugagandan so‘ng kristall yuzasi atrof muhit atmosferasi ta’siridan himoyalash uchun qobiqlanadi.
Odiiy integral sxemalarda chiqish elektrodlari soni 8-14 ta, KISlarda esa 64 tagacha va undan ko‘proq bo‘lishi mumkin.
ISlar qobiqlari metall yoki plastmassadan tayyorlanadi.

2.7.-rasm. ISlarning qobiqsiz turlari.



2.8.-rasm. IMS prinsipial sxemasi



2.9.-rasm. IMS tuzilishi


Foydalanilgan adabiyotlar roʻyxati:

1. 
   Rasulov E.N.,. Begimqulov U.Sh. Kvant fizikasi II qism «Fan ». 2009. 6–48-b.
   
2. 
   Tarasov L.V. Sovremennaya fizika v sredney shkole.– M.: Nauka, 1985.–175 s.
   
3. 
   Xudoyberganov A.M., Mahmudov A.A. Atom fizikasi. –Toshkent, Navro‘z, 2018. –252 b.
   
4. 
   Shpolskiy E.V. Atom fizikasi. 2 tomli-T.:O’qituvchi. 1970.T.2.
   
5. 
   P.M.Jalolova. Methods of atomic physics classes organization based on e-learning
   

technologies // European Journal of Research and Reflection in Educational Sciences №12 S.1547-1553 . Germany. 2020

6. 
   P.M.Jalolova. Theoretical- methodological aspects of quantum physics section in the
   

credit module system // Solid State Technology Volume: 63 Issue: 6 Publication . S.152-158 Year: 2020 (Scopus)

7. 
   P.M.Jalolova. Metodi ispolzovaniya informatsionnыx texnologiy v izuchenii
   

fiziki. // Materialien von XVI International wissen schaftliche und praktische Konferenz Modernes 1wissenschaftliches Potenzial 28. Februar - März 2020 , Volume 11.: Berlin. S.69-73.

8. 
   http://www.phyisiss3d. som-State University of Sompinas.
   
9. 
   http://www.physicon.ru Rossiyaning Sankt-Peterburg milliy universitetida ishlab
   

chiqilgan virtual ishlanmalar serveri.

10. 
    http://www.uiniti.msk.ru – Umumrossiya ilmiy va texnik axborotlar institutining serveri.
    

Nurmatov Bahodır Abdirauf o’g’li