Detallar yuza g’adir-budirliklari bo’yicha yeyilmani aniqlash usullari

Optik profilometr

Foydalanish (ishlatilishi): ixtiro o`lchash texnikasiga oid hisoblanadi. Ixtirodan foydalanishning texnik natijasi ixtiro aniqligini oshirish hamda kata chiziqli o`lchamli yuzalarni o`rganish imkonini berish hisoblanadi. Ixtironing mazmuni: natijaga (erishish) yorug`lik profilometrda nurlanish spektori koordinat ko`rsatgichlari fotosezgir elementlari tuzilishida tekshiriluvchi yuzalar profile

tasviriga barchasi mos kelish va spektorlar maksimumlar holatlari solishtirish bilan erishiladi. O`lchash aniqligi koordinat ko`rsatgich dinamik oralig`i diapazoni bilan chegaralangan, uning yordamida spektor maksimumlarini o`lchash amalga oshiriladi va λ/1000 dan kam bo`lganini tashkil qiladi, o`rganilayotgan yuza o`lchamlari foydalanishdagi yorug`lik manbai quvvati bilan chegaralangan xolos. Ixtiro o`lchagichlar texnikasiga oid bo`lib jumladan qurilmalar sinfiga qarashli va nanometrli texnalogiyalarini kontaksiz metrologik ta`minlash uchun mo`ljallangan va texnikaning har xil sohalarida mahsulot yuza profilini nazorat qilish uchun texnologik jarayonlarni sozlashda ham yakuniy mahsulotni tez nazoratida ham,

ilmiy tadqiqotlarda ham qo`llanishga mo`ljallangan. Profolometrlarni sinfi ma`lumki, ularning ishi geterodinli interferometr tamoyiliga asoslangan. Ushbu tamoyil mohiyati nurli shakllanishga, bir-biriga yaqin chastotasi bor, buning uchun lazer nurlanishdan foydalanish bilan nurlarni biridan tayanch sifatida foydalanishga va tekshirilayotgan yuzalari olish uchun modellangan signallarni fazalarni nisbiy o`zgarishlarini o`lchamlarni o`z ichiga oladi.

5.8-rasm. Profilometr

Yuqorida aytib o`tilgandek g`adur-budurliklarni kontakt usulida o`lchash uchun yasalgan asbob bo`lib: baholanayotgan yuza bo`ylab siljiyotgan igna notekislik-larda tebranadi. Bu tebranishlar EXK (Elektrli xarakterlovchi kuch) “uyg`onishini” chaqiradi va mos ravishda kichik toklarni ular galvanometr yordamida kuchaytiri-ladi va qayd qilinadi, bu ko`rsatgichlar pribor displeyida chiqariladi va tekshirilayotgan yuzalar xarakteri-mikro notekisliklar balandligi

to`g`risida xulosa berish imkonini beradi. Lekin g`adur-budurlikni baholash uchun qo`shimcha balandlik tanlanmaydi, balki g`adur-budurlikning parametri tanlanadi.