Hosil qilish

Prekursorlarning suyuq eritmalaridan plyonkalarni hosil qilish

Ingliz tilidagi adabiyotlardada bu usul Chemical Solution Deposition yoki Liquid Phase Depression (CSD yoki LPD) deb nomlanadi. Ushbu usul oddiy va murakkab oksidlarning plyonkalarini, shu jumladan elektrolitlarni olishga imkon beradi [80-84]. Prekursor eritmalaridan kimyoviy cho`kindi hosil qilish jarayoni quyidagi bosqichlardan iborat:

- prekursorlar eritmasini tayyorlash;

- eritmani qoplama yuzasiga qo'llash;

- past haroratli ishlov berish, bu jarayonda quritish, organik birikmalar pirolizi va amorf plyonka hosil bo'lishi;

- yuqori haroratli ishlov berish, unda kerakli tarkibdagi zich kristalli plyonka hosil bo'ladi.

Prekursorlar eritmasidan plyonkalarni yuqori sifatli cho'ktirish uchun prekursorlarning erituvchida eruvchanligi, plyonka hosil qiluvchi eritma bilan qoplama materialining yetarli darajada namlanishi, plyonkaning vaqt bo`yicha barqarorligi kabi xususiyatlariga e’tibor berish kerak. Plyonkalar xususiyatlarining takrorlanishini ta'minlash uchun zarur bo'lgan eritmani hosil qilish, qoplamaga zarur ionlarni yotqizish uchun reaksiya yon mahsulotlarini gaz fazasiga o`tkazish imkoniyati, barcha texnologik jarayonlar davomida prekursor eritmasining bir xilligi fazalar, qoplamaning qalinligi bo'yicha bir xilligini ta'minlaydi, quritish va qo'shimcha issiqlik bilan ishlov berish bosqichlarida plyonka yorilishining oldini oladi.

Bundan tashqari, barcha plyonka ishlab chiqarish texnologiyalari uchun xos bo'lgan bir qator shartlarni bajarish kerak. Ular orasida degradatsiyalash jarayonlarini minimallashtirish va/yoki yo'q qilish zarurligini va qatlam va issiqlik bilan ishlov berish jarayonida qoplama va plyonka materiallarining o'zaro ta'sirini alohida aytib o`tish mumkin. Agar ushbu shartlar bajarilsa, prekursorlarning suyuq eritmalaridan cho`kindi hosil qilish plyonka ishlab chiqarishning tezkor va tejamkor texnologik usulidir.