January-february 2019 Physical properties of reactive rf sputtered a-izon thin films


Download 0.59 Mb.
Pdf ko'rish
bet9/9
Sana11.03.2023
Hajmi0.59 Mb.
#1261434
1   2   3   4   5   6   7   8   9
Bog'liq
0035-001X-rmf-65-02-133

rials 31 (2016) 745-749.
http://www.jim.org.cn/EN/abstract/article 13411.shtml
18. J.J. Ortega et al., Journal of Materials Science and Engineer-
ing A,(2014) 91-98.
https://doi: 10.17265/2161-6213/2014.03.004.
19. U. Ozgur, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov,
Journal of Applied Physics 98 (2005) 041301.
https://doi.org/10.1063/1.1992666.
20. S. Kasiviswanathan and G. Rangarajan, Journal of Applied
Physics 75 (1998) 2572.
https://doi.org/10.1063/1.356231.
21. N. Ito, Y. Sato, P.K. Song, A. Kaijio, K. Inoue, Y. Shigesato,
Thin Solid Films 496 (2006) 99-103.
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.08.257.
Rev. Mex. Fis. 65 (2019) 133–138

Download 0.59 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   2   3   4   5   6   7   8   9




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling