Muhammad al-xorazmiy nomidagi toshkent axborot texnologiyalari universiteti elektronika va radiotexnika kafedrasi Sxemalar va elektronika 1 fanidan

И-shisha keramikli planar, Б-qobiqsiz va x.z.).
Uchinchi element (bitta son) – IMSning konstruktiv-texnologik turini bildiradi (1,5,6,7-yarimo‘tkazgichli, 2,4,8-gibrid, 3-boshqa: pardali, keramik, vakuumli).
To‘rtinchi element (ikkita yoki uchta son) – IMS seriyasining tartib raqamini bildiradi. Ikkita son birlalikda-aniq seriya raqamini bildiradi.
Beshinchi element (ikkita harf) – IMSning funksional vazifasini bildiradi.
Oltinchi element bir turdagi IMS seriyalari ichidagi ishlanma tartib raqamini bildiradi.

Yarimo‘tkazgich IMSlar yaratishda texnologik jarayon va operatsiyalar
Yarimo‘tkazgich IMSlar tayyorlash uchun asosiy material bo‘lgan - kremniy monokristal quymalari olishdan boshlanadi. (Choxralskiy usuli)
Hosil bo‘lgan kremniy quymasi n– yoki p–turli elektr o‘tkazuvchanlikka ega bo‘ladi.
Quyma uzunligi 150 sm, diametri esa 150 mm va undan katta bo‘lishi mumkin.
Zonali eritish usulida monokristal ifloslantiruvchi kiritmalardan qo‘shimcha tozalanadi.
Epitaksiya. Epitaksiya jarayoni asos sirtida uning kristall tuzilishini takrorlovchi yupqa monokristal ishchi qatlamlar hosil qilish uchun ishlatiladi.
Gaz fazali va suyuq fazali epitaksiya usullari keng tarqalgan bo‘lib, ular monokristal asos sirtida n– yoki r–turli o‘tkazuvchanlikka ega bo‘lgan epitaksial qatlamlar hosil qilish imkonini beradi.
Termik oksidlash. Termik oksidlash – kremniy sirtida oksid (SiO2) qatlam (parda) hosil qilish maqsadida sun’iy yo‘l bilan oksidlashdan iborat jarayon. U yuqori (1000÷1200) 0S temperaturalarda kechadi.

Fotolitografiya - yarimo‘tkazgich plastinadagi metall yoki dielektrik pardalar sirtida ma’lum shakldagi lokal sohalarni hosil qilish jarayoni. Ushbu sohalar kimyoviy yemirishdan himoyalangan bo‘lishi shart.
Fotolitografiya jarayonida ultrabinafsha nur ta’sirida o‘z xususiyatlarini o‘zgartiruvchi, fotorezist deb ataluvchi, maxsus moddalar ishlatiladi.

Fotorezist oksidlangan kremniy plastinasi sirtiga surtiladi va kvars shisha niqob orqali yoritiladi. Niqoblar shaffof va shaffof emas sohalarga ega bo‘lgani uchun fotorezistning ma’lum sohalariga yorug‘lik (ultrabinafsha nur) ta’sir etib, uning xususiyati o‘zgartiriladi. Bunday niqoblar fotoshablonlar deb ataladi.

IMS tayyorlashda fotolitografiya jarayonidan bir necha marta (5÷7 marta) foydalaniladi (negiz qatlamlar, emitterlar, omik kontaktlar hosil qilishda va x.z.). Bunda har gal o‘ziga xos “rasm”li fotoshablonlar ishlatiladi.


Foydsalanilgan adabiyotlar :
http://fayllar.org/
IMS - Wikipedia
IMS (электросвязь) | это... Что такое IMS (электросвязь)? (academic.ru)