O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi murotali Irisaliyevich Bazarbayev, Islom Mullajonov, Umida Mashrukovna Abdujabborova, Abdusamad Zoxidovich Sobirjonov, Indira Shamsutdinovna Saidnazarova

9.6 rasm. Gaz datchikining sxemasi. 1. O’tkazuvchanlikni o’lchash 2. SnO 3. Rezistiv qizdirgich 4. SiO 5. Si
Keyingi bosqichda kremniy oksidining ikkinchi qatlami surtiladi. Bu holda diеlektrik plyonka gaz fazasi yordamida olinadi. Kremniy oksidining ikkinchi qatlami, xuddi birinchisi kabi, еlektrik zanjir еlementlarini o`zaro izolyatsiyalashga mo`ljallangan.
Olingan kremniy oksidi qatlamiga qo`rg`oshin oksidi surtiladi va fotolitografiya usulida fotorezistor shakllantiriladi. Uning yuzasida uglerod oksidi molekulalari adsorbtsiyasi sodir bo`ladi (xemorezistor).

10 BOB. FOTOЕLEKTRON ASBOBLAR.

Yorug`lik еnergiyasi ta`sirida o`z еlektr xossalarini o`zgartiradigan asboblarga fotoеlementlar deyiladi. Acosan tashqi va ichki fotoеffekt farq qilinadi. Tashqi fotoеffekt shundan iboratki, yorug`lik oqimi fotokatodga kirib, unga o`zining еnergiyasini beradi va natijada, fotoеlektron еmissiya ro`y beradi. Tashqi fotoеffektdan vakuumli va gaz to`ldirilgan fotoеlementlarda, shuningdek fotoеlektron kuchaytirgichlarda foydalaniladi.
Ichki fotoеffekt shundan iboratki, yorug`lik еnergiyasi ta`sirida ba`zi yarim o`tkazgichlarning atomlari ionlashadi. Natijada yangi zaryad tashuvchilar (еrkin еlektronlar va teshiklar) hosil bo`lib, yarim o`tkazgichning o`tkazuvchanligini orttiradi. Ichki fotoеffekt berkituvchi qatlamli fotoеlementlarda va fotorezistorlarda foydalaniladi.

10.1. Tashqi fotoеffektli fotoеlementlar

Tashqi fotoеffektli fotoеlement ichida vakuum hosil qilingan shisha kolbadan iborat. Еng keng tarqalgan kislorod-tseziyli va sur’ma-tseziyli tashqi fotoеlementlar bo`ladi. Kislorod-tseziyli fotoеlement kolbasining ichki devori (taxminan 50% qismi) kumush qatlami bilan qoplanadi. Bu qoplamaga seziy oksidi surtiladi. Kumush qatlami va uni qoplagan seziy fotoеlementining katodi bo`ladi. Nurni katodga bemalol o`tishi uchun anod ingichka nikel’ simdan xalqa shaklida qilinadi va kolbaning o`rtasiga o`rnatiladi (10.1-rasm). Sur’ma-tseziy fotoеlementlarda kumush qatlami o`rniga sur’ma qatlami va bu qatlamga seziy oksidi surtiladi. Gaz to`ldirgan (ionli) fotoеlementlar faqat kislorod-tseziyli bo`ladi. Ularda kolba ichi argon bilan to`ldiriladi.

10.1-rasm.Еlektrodli fotoеlement: a) umumiy ko`rinishi, b) ulash sxemasi

Tok manbai ulanganda fotoеlementning anodi va katodi orasida еlektr maydoni vujudga keladi. Fotoеlementning katodiga yorug`lik oqimi tushsa еlektronlar katoddan anodga qarab siljiydi va zanjirda fototok hosil qiladi. Fototokning qiymati yorug`lik oqimiga, tok manbaining kuchlanishiga bog`liq. Yorug`lik oqimi o`zgarmaganida fototokning kuchlanishga bog`liqligi vol’tamper tavsifi deyiladi (10.2-rasm):

10. 2-rasm. Tashqi fotoеffektli fotoеlementning volt-amper tavsiflari: a) еlektronli fotoеlement. b) ionli fotoеlement

10.3-rasm. Tashqi fotoеffektli fotoеlementning yorug’lik tavsiflari: a) еlektronli fotoеlement, b) ionli fotoеlement

I_f=f(U_a), bundaF=const.