Pechat platalar Berilgan o'tkazuvchanlik turlari va yarim o'tkazgichli qatlamlarni yaratish jarayoni

2.7-rasm. Fotolitografiya bosqichlari
1 — sirtni tayyorlash (yuvish va quritish); 2 —fotorezistni qoplash (yupqa polimer qatlami markazdan qochirma kuch tasirida aralashmani mexanik ravishda ajratish bilan qoplanadi); 3 — quritish (ertigichni yo’qotish va rezistni qattiq eritiladigan bosqichga o’tkazish); 4 — fotoshablonni yotqizish va eksponsiyalash (fotoshablonga malum vaqt nur tushirish) (musbat rezist yoruhlik ta'siri ostida erimaydigan bosqichga o’tkaziladi); 5 —rezistni ko’rinadigan qilish (eksponsiyalanmagan rezistni yo’qotadigan eritgichda yuvish); 6 — stabillaydigan yumshatish (eritgich qoldiqlarini yo’qotish); 7 — nuqsonlarni nazorat qilish va tuzatish; 8 — ishlov berish (niqob rasmini to’g’ridan-to’g’ri yarim o’tkazgichli tuzilma sirtiga o’tkazish; 9 — fotorezistni yo’qotish; 10 — oxirgi nazorat qilish.

1. 
   Bosma (pechatli) platalarni konstruksiyalash usullari
   

Bosma (pechatli) platalarni konstruksiyalashning qo„lda bajariladigan, yarim avtomatlashtirilgan va avtomatlashtirilgan usullari mavjud.


Qo„lda bajariladigan bosma (pechatli) platani konstruksiyalash usulida elementlarni bosma (pechatli) platada joylashtirishni va bosma (pechatli) o’tkazgichlarni simli ulanishlarini konstruktor o’zi qo’lda bajaradi. Eng ko’p tashqi aloqalarga ega bo’lgan elementlar guruhi ulanish elementi yonida joylashtiriladi.
Elementlarni bosma (pechatli) plata yuzasida joylashtirishda quyidagi cheklashlarga e'tibor berish kerak:

• 
  mexanik ta'sirlar sharoitida ekspluatatsiya qilishda og’ir (hajmli) elementlarni bosma (pechatli) plata yuzasida joylashtirishga;
  
• 
  issiqlik chiqaruvchi elementlar va harorat diapazonida o’zgaradigan parametrlari o’zgarishi mumkin bo’lgan elementlarning o’zaro joylashishi;
  
• 
  elementlar orasida halaqit aloqani paydo bo’lishini oldini olish uchun ularni o’zaro joylashishiga.
  

Bosma (pechatli) platani yarim avtomatlashtirilgan
konstruksiyalash usulida osma elementlarni joylashishi EHM
yordamida, bosma (pechatli) o’tkazgichlarni simli ulanishi esa qo’lda bajariladi.
Bosma (pechatli) platani avtomatlashtirilgan konstruksiyalash usulida osma elementlarni joylashtirish va bosma (pechatli) o’tkazgichlarni simli ulanishi to’liq EHM yordamida bajariladi.
Bosma (pechatli) platani o’tkazuvchi qavatini rasm-topologiyasini loyihalashtirish maxsus avtomatik loyihalashtirish tizimi yordamida amalga oshiriladi.

2.