Реферат диссертации доктора философии (PhD) по физико-математике ташкент 2023 удк

НАУЧНАЯ СТЕПЕНЬ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОГО ИНСТИТУТА ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НАЦИОНАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА УЗБЕКИСТАНА с.03/30.12.2019. ФМ / Т .01.12 СОВЕТ ПО ЦИФРОВОЙ НАУКЕ
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ НАЦИОНАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА УЗБЕКИСТАНА
САЙФУЛЛОЕВ ШОРУХ АМИН О'ГЛИ
« FeSi ₂ В КРЕМНИИ МЕТОДОМ ИОНОВОГО ЛЕГИРОВАНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ ПРОИЗВОДСТВА СИЛИЦИДА COSi ₂ »
01.04.10 – ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
РЕФЕРАТ ДИССЕРТАЦИИ ДОКТОРА ФИЛОСОФИИ (PhD) ПО ФИЗИКО-МАТЕМАТИКЕ
Ташкент - 2023
УДК 621.315.592


Доктор философии (PhD) в области физико-математических наук
абстрактное содержание диссертации


Оглавление оглавление фолософия оглавление
по физико-математическим наукам


Содержание автореферата диссертации доктора философии (PhD)
по физико-математическим наукам

Сайфуллоев - сын Шахрукха Амина образования силицидов FeSi 2 и CoSi 2 в кремнии методом ионного сплавления	3
Сайфуллоев Шохрух Амин Угли Изучение механизмов образования силицидов F e S i 2 i C o S i 2 на кремнии, полученix ионным легированием	2 2