Реферат диссертации доктора философии (PhD) по физико-математике ташкент 2023 удк

Соответствие исследования приоритетам развития науки и техники в Республике Узбекистан. Данное исследование выполнено в соответствии с приоритетами науки и техники Республики Узбекистан III-3 «Развитие энергетики, энерго- и ресурсосбережения, транспорта, станкостроения, современной электроники и микроэлектроники, фотоники и электронной аппаратуры». .


Уровень изученности проблемы. К настоящему времени систематические исследования возможностей использования МНЭ при создании многослойных композиционных материалов и гетероструктур на основе кремния ведутся в следующих научных центрах: в числе первых ИФП СО РАН (Стенин С.И., Пчеляков О.П. и др.), МНИИРМ. (Минск), ЛФТИ (лаборатория Алферов Ю.И., Копьев П.С., группа Соколова Н.С.), ИРЭ (бригады Дворянкина В.Ф., Митягина А.Ю., Мокерова В.Г.), НИИ МЭ и НИИФП (Зеленоград), ФГУП «НПО Орион» (Осадчев Л.А.), Этим вопросом занимались также СНИТИ (Житковский В.Д.), ИПТМ (Вяткин А.Ф.), ИОФАН и ФИАН (все - г. Москва) и другие ученые.
В работах известных узбекских ученых С.З.Зайнабидинова, А.Т.Мамадалимова, М.К.Бахадырханова, К.П.Абдурахманова, Ш.Б.Утамурадовой, Х.С.Далиева и др. рассмотрено влияние дефектов, создаваемых примесными атомами, на электрофизические, фотоэлектрические и оптические свойства монокристалла кремния, легированного элементами исследована также группа 3d-металлов, детально изучено влияние внешних факторов на состояние таких входных дефектов. Представлены работы авторов, занимавшихся созданием многослойного композиционного ионного материала и гетероструктур на основе кремния . А по теме - механизмы образования силицидов Mn, Co, Ni в кремнии. фазовые состояния, равновесные состояния (механизмы образования низших силицидов, обогащенных металлами, верхних силицидов, обогащенных кремнием, через спектральные связи рентгеновского и оптического коэффициентов отражения) были впервые изучены старшим научным сотрудником Института прикладной физики Т.С.Камиловым.
темы диссертации с исследовательскими планами научно-исследовательского учреждения, в котором выполнена диссертация. Диссертационное исследование выполнено на основании координационного проекта Кабинета Министров Республики Узбекистан 4.2.1 по практическому проекту (2017-2020 гг.) на тему «Контроль физических свойств твердых тел в ионно-плазменном технологии и изучение возможности их применения в микроэлектронике».