Texnik avtomatlashtirish asboblari

Ishlab chiqarish parametrlari uchun zal effektli sensorlar

Xoll effekti magnit maydon kuchini o'lchash uchun ishlatiladi. Hall effektidan foydalanadigan sensorlar generator turidir. Ularning o'zlari o'lchangan magnit maydonning xususiyatlarini noyob tarzda aniqlaydigan elektr kuchlanishini hosil qiladi. Hall effekti har xil darajada bo'lsa-da, barcha materiallarda uchraydi. Amalda, bunday turdagi sanoat sensorlar yarimo'tkazgichlar asosida amalga oshiriladi.
Xoll effektining mohiyati 1.10-rasmda ko'rsatilgan.
Agar quvvati H bo‘lgan magnit maydonga birlik qalinligidagi yarimo‘tkazgich plitasi qo‘yilsa va uning bo‘ylab I kattalikdagi tok o‘tsa va elektr maydon kuchi vektori magnit maydon kuch vektori bilan to‘g‘ri burchak hosil qilsa, u holda potentsiallar farqi UQ. Ushbu gofretning yon yuzlarida paydo bo'ladi, bu ifoda bilan aniqlanadi:

Guruch. 1.10. Hall effektining mohiyati

Bu erda Kn - Hall doimiysi, bu plastinka materialidagi erkin zaryad tashuvchilar (elektronlar va ionlar) kontsentratsiyasiga bog'liq.
Hall effekti eng katta darajada namoyon bo'lishi uchun transduser plitasining qalinligi eng kichik bo'lishi kerak. Indiy arsenid va indiy arsenid fosfidi odatda Hall effekti sensorlari uchun yarimo'tkazgich materiallari sifatida ishlatiladi. Indiy arsenid fosfidi yuqori haroratlarda ishlatiladi.
Hall effekti yordamida datchiklar uchun yarimo'tkazgichli gofretlarni ishlab chiqarishning uchta usuli mavjud.
1. Yarimo'tkazgichli gofret materialning asl qismidan kesiladi va keyin qalinligi 5...100 mkm bo'lgan holda ishlangan. Shundan so'ng, u epoksi yoki poliester qatroni bilan substratga yopishtiriladi, bu esa yoriqlarni yaxshi to'ldiradi va yaxshi issiqlik tarqalishini ta'minlaydi.
2. Yarimo'tkazgich material bug'lardan substratga yotqizilib, qalinligi 2...3 mkm bo'lgan qatlam hosil qiladi.
3. Yarim o'tkazgich materialining qatlami gaz fazasidan yarim izolyatordan, ko'pincha gallium arsenididan tayyorlangan substratda o'stiriladi. Shu tarzda olingan transduserlar yuqori barqarorlikka ega va aniq o'lchovlar uchun ishlatiladi.
Xoll effektli transduserlar magnit maydonlarning parametrlarini o'lchash, shuningdek, ferromagnit materiallarning xususiyatlarini aniqlash uchun eng keng tarqalgan.
Ushbu transduserlar boshqa fizik miqdorlarni o'lchash uchun ham qo'llaniladi, ularning o'zgarishi osongina magnit induksiyaning o'zgarishiga aylanadi. Xoll effektidan foydalanadigan konvertorlar yordamida burchak va chiziqli siljishlarni, elektr toklarini va boshqalarni o'lchash mumkin.

4.