Va yarimotkazgichli asboblar texnologiyasi
Download 94.09 Kb. Pdf ko'rish
|
- Bu sahifa navigatsiya:
- [1121 (L [W ] a
- Kristallarda sirtiy nuqsonlar.
- Kristallardagi hajmiy nuqsonlarga
- Nazorat savollari
(1.4.) b o ‘ladi. Frenkel juftlari zichligi esa (1.5) 12 b o iad i, bunda тУ-birlik hajmdagi tugunlar soni, N - tuguniararo imkoniy vaziyatlar soni, E f- Frenkel jufti hosil b o ‘lish energiyasi. Shotki nuqsonlari (vakansiyalar) kovalent boglanishli kristallarda (masalan, germaniy va kremniy kristallarida) ko‘proq uchraydi. Ular ^ichligining tem peraturaga kuchli boglanganligi (1.4) ifodadan ko‘rinib turibdi. Past (jumladan, xonadagi) tem peraturalarda vakansiyalar zichligi kam, am m o tem peratura ortishi bilan u tez orta boradi. Agar Ev= 1 eV, AM 022sm~3 b o ig an holda vakansiyalar zichligi N y ushbu jadvalda keltirilgan. 1 . 1 -jadval T,K 100 300 500 700 900 1100 N Vi sm-3 2 -lO' 32 2 -1014 2 -1010 2 -1014 2 -1016 2 -1017 Jadvaldan, yuqori tem peraturalarda vakansiyalar zichligi ancha ko ‘p bolishligi yaqqol k o lin ad i. Kristalining tem peraturasi pasaytirilsa, vakansiyalar zichligi kamayib ketishi kerak. Shu sababdan, agar kristall tez sovitilsa (bu jarayonni “chiniqtirish” deyiladi), vakansiyalar zichligi o ‘sha yuqori tem peraturadagidek qoladi. Shu sababdan m azkur zichlik kristallga berilgan oldingi term o ishlovga ham b o g iiq b o iad i. Ammo, kristallni yuqori tem peraturada muayyan vaqt davomida qizdirib turilsa (“kuydirish”), vakansiyalar hajm dan sirtga diffuziyalanib ketadi. Nuqtaviy nuqsonlarning, jum ladan vakansiyalarning hosil b o iish i bosimga ham bogiiq. U ncha katta b o lm ag an bosimlar sohasida N v ~ N e , x p [ ( - E v + p v ) / k T ] ( 1.6) ifodadan foydalanish m um kin, bundagi p -bosim, v -bitta vakansiya hosil bo lishida kristall hajmining o ‘zgarishi. Kristall hajmida vakansiyalarning uyumlari (to ‘plamlari) hosil b o iish i va ular o‘z navbatida boshqa nuqsonlarning, masalan, chiziqiy nuq sonlarning paydo bolishiga olib kelishi mumkin. Vakansiyalar boshqa nuqsonlar bilan masalan, kirishmalar bilan birlashishi mumkin. Kremniy va germaniy m onokristallarida vakansiya — kislorod birikmasi (y4-mar- kaz) boshqa vakansiyalar yoki kirishmalar o lirib oladigan m arkazlar vazifasini o laydi. Bunday nuqtaviy nuqsonlar o ic h a m i 60-80 nm. 13 A 111 B v birikmali yarim o‘tkazgichlar kabi murakkab yarim o‘tkaz- gichlarda u yo bu tarkiblovchi atom larning b a’zi tugunlarda yo‘q bo‘lishligidan vakansiyalar hosil bo‘ladi. Vakansiyalar haqida yuqorida keltirilgan m a’lum ot bilan cheklanam iz va o ‘quvchiga bu haqda batafsil m a’lumot uchun ro ‘yxati keltirilgan adabiyotni tavsiya qilamiz [7]. Nuqtaviy nuqsonlar asosan muvozanatli nuqsonlar guruhiga kiradi. Kristall bilan issiqlik m uvozanatida bo ‘lmagan nom uvozanatli nuqsonlar ham mavjud b o ‘ladi. D islokatsiyalar deb nom langan chiziqiy nuqsonlar eng muhim nomuvozanatli nuqsonlardir. Bu nuqsonlarning o ‘lchamlari ikki yo‘nalishda juda kichik, am m o uchinchi yo‘nalishda har qancha uzun boMishi mumkin. Dislokatsiyalarning ikki asosiy turi mavjud. Birinchi turi-chegaraviy dislokatsiyalar kristall panjarasida qo‘shim cha ADC В vertikal atom lar yarim tekisligining vujudga kelishi oqibatida hosil b o la d i (I.8-rasm ). AD EF tekislik ustida atom lar vertikal qatorlari soni bittaga ortiq b o lad i. AD EF tekislik sirpanish tekisligi deyiladi. Yarim tekislikning pastki chegarasi AD dislokatsiya chizig‘ini tashkil qiladi. Agar chegaraviy dislokatsiyaning bir uchi m ahkam langan b o ‘lsa, uning harakatlanishi oqibatida murakkab shakldagi chiziqiy nuqsonlar, masalan, yarim halqa shakili dislokatsiya sirtm og‘i vujudga keladi. Ular dislokatsiyasiz kremniy va germaniy m ono kristallarida ko'pincha uchrab turadi, ularning o lc h a m i 10 nm gacha b o ‘lib, monokristallarning dislokatsiyasiz o ‘sishini buzuvchi dislokatsiyalar paydo bo ‘lishi va ko‘payishiga sabab boMadi. Ikkinchi turdagi dislokatsiyalar - vintsimon dislokatsiyalardir. Ular panjara bir qismining ikkinchisiga nisbatan bir davr qadar siljishi oqibatida hosil b o ‘ladi. Bu holda panjara buzilishi shundan iboratki, vintsimon dislokatsiya AD o ‘qi vaqinida atom lar qatorlari egiladi va pastki atom lar qatoriga tenglashadi, ya’ni ular spiral yoki vint bo ‘yicha joylashadi. Kristallarda chegaraviy va vintsimon dislokatsiyalar bir vaqtda mavjud boMishi 1.8—rasm. Kristalldagi mum kin, ular dislokatsiyalarning aralash chegaraviy dislokatsiya shakUarini hosii qila oIadi. Dislokatsiyalar dastlab xam irturush kristalldan o ‘sib chiqadi. So‘ngra, uning o ‘sishiga mexanik va term ik kuch lanishlar, zichlik gradientlari, va- kansiyalar to ‘planishi va yot kirishmalar ta ’sir qiladi. Asosiy o ‘rin tutadigan term ik kuchlanishlar kristallning plastik defor- I-9-rasm. Kristalldagi matsiyasini paydo qiladi ( 1.9-rasm). vintsimon dislokatsiya tasviri. M onokristallar yuqori tem peraturalarda bunday deformatsiyaga duchor b o iish i oson. M asalan, kremniy kristalli 800° С dan yuqorida oson buralishi va egilishi mumkin. Kristallning plastik deformatsiyalanish jarayoni atom lar tekisliklarining bir-biriga nisbatan siljishi yoki sirpanishi yo‘li bilan boradi. Agar kristalida dislokatsiyalar b o lm asa, bu jarayon yuz berishi uchun atom lar qatorlarini bir-biriga nisbatan siljitishga ancha energiya kerak bo iad i. Dislokatsiyalar b o ig a n holda esa siljish eng b o‘sh joyda — dislokatsiya sohasida osonroq sodir b o iad i. Bunda ortiqcha atom lar yarim tekisligi qo‘shni tekislikni uzib, o ‘sha joyga o lin lash adi. Oqibatda dislokatsiya o ‘z sirpanish tekisligida chapdan o ‘ngga «Estafeta boyicha» ko‘chadi.(1. 10-rasm). Dislokatsiya kristall sirtiga chiqib, pog‘ona hosil qiladi. Bunday plastik deformatsiyada massa ko‘chmaydi. Dislokatsiyalar tem peratura gradienti ta ’sirida pastroq tem peraturali sohaga tom on ko‘chishi mumkin. Turli ishorali ikki dislokatsiya uchrashganda ular bir-birini yo‘q qiladi. Demak, dislokatsiya harakatlanishi oqibatida yo kristall sirtiga chiqadi, yo boshqa dislokatsiyada to ‘xtaydi. Sirpanish tekisligida ko‘chishdan tashqari ya na dislokatsiyalar tik yo‘- nalishda, ya’ni opining yarimtekisligida harakat qilishi mumkin. Bu ~ ~ ~a ь d diffuzion harakat b o iib , 1.10-rasm. Chegaraviy dislokatsiya ko‘chish u kristallning turli oqibatida kristallning plastik deformatsiya- temperaturali qismlarida l^nishi. 15 dislokatsiyalar zichligi har hil b o iish i oqibatidir. Kirishma atom lari dislokat- siyalarga tortiladi, ular atrofida ki rishm alar uyumini (kirishm a atm os- ferasini) tashkil qiladi. Yuqori tem peraturada kirishma atmosferasi hajm b o ‘yicha so‘riladi, past tem p e raturada esa yana hosil b o ia d i. Bu hodisa kristall hajmida kirishm a larning (jum ladan, legirlovchi kirish malarning ham ) notekis taqsim la- Dislokatsiyalar yarim olkazgichlarda zaryad tashuvchilarning harakatchanligi yashash vaqti va boshqa kattaliklariga ancha ta ’sir qiladi. Dislokatsiyalar tashqi ta ’sirga sust qarshilik ko‘rsatadi. Shuning uchun edirish, diffuziya, kristall murtaklari hosil b o iish i va h.k. jarayonlari kristall sirtiga dislokatsiyalar chiqqan joylarda tezroq boradi. Dislokatsiyalar nisbiy m iqdorini aniqlash uchun yarim olkazgich sirti ni kimyoviy ediriladi. Dislokatsiyalar chiqqan joylar boshqa joylarga nis batan kuchliroq emirilib, edirish chuqurlari vujudga keladi ( 1. 11-rasm). [1121 (L [W ] a Cm ] f b 1.11 —rasm. ( H I ) te k islik d a yed irilish c h u q u rla ri tasviri: a —tekislik sirtida kurinishi; b — kesimda ko'rinishi.; nishiga sabab b o iish i mumkin. 1.12—rasm. Y arim o 'tk azg ich kris- ta lla rid a k ic h ik b u rc h a k li c h e - g aralar. 1.13—rasm. Y arim o 'tk azg ich m o n o k rista lla rid a egizaklar. 16 Yedirilgan sirtni mikroskop orqali kuzatib hisoblash yarim olkazgichdagi N m dislokatsiyalar zichligini aniqlash im konini beradi. N j ni 1 sm2 sirt yuziga to ‘g‘ri kelgan yedirish chuqurlari soni sifatida ifodalanadi. Kristallarda sirtiy nuqsonlar. U lar jumlasiga kichik burchakli chegaralar, donalar va egizaklar chegaralari, fazalararo chegaralar va kristalining o ‘z sirti kiradi. Kichik burchakli chegaralar yo‘nalishi kam farq qiladigan kristallaming ikki b o lag i bloki orasida hosil b o ia d i (I.12-rasm ). Buning oqibatida bunday bloklar orasida chegaraviy dislokatsiyalar vujudga keladi. Bloklar orasidagi burchak qancha katta b o lsa , chegarada dislokatsiyalar shuncha ko‘p joylashadi. Bloklar yo‘nalishlari farqi juda katta b o lg an d a kichik burchakli chegaralar donalar orasida oddiy chegaralarning o ‘zi b o iib qoladi. Polikristall quymada donalar chegaralari bir necha kristall murtaklarning bir vaqtda kattalashib borishi oqibatida hosil bo iad i. K o‘pincha kristallaming o ‘sayotgan donalari turli kristallograflk yo‘nalishlarga ega b o iad i. Ammo, agar tegishgan kristall donalari muayyan yo‘nalganlikka ega b o lsa , ular orasidagi chegarani egizak chegarasi deyiladi. Masalan, egizak kristallda (I.13-rasm ) uning bir qismi ikkinchi qismining ko‘zgusimon aksi b o ia d i, akslanish tekisligini egi- zaklanish tekisligi deyiladi. Egizak kristall bir to ‘g‘ri chiziq (egizaklanish o‘qi) atrofida uning bir qismini aylantirish natijasida hosil b o iish i mumkin. Egizaklar kristallar o ‘sishida, shuningdek, mexanik, deformatsion ta ’sir oqi batida vujudga kelishi mumkin. Yarimo4tkazgich kris- tallarning egizaklanishi juda ko4p tarqalgan tuzilish nuqsonidir. Ular dislokatsiyalar paydo b o ' lishi sabablaridan vujudga keladi, ko'pincha dis lokatsiyalar uyumidan tu- gllishi mumkin. Egizak- larning paydo b o ‘lishiga, shuningdek, kristallanish 1.14—rasm. Krem niy atom larining kristal sirtida va uning hajm ida joylashishi: 1 — kristal sirti; 2 — kovalent kimyoviy boglanishlar; 3 — uzilgan kimyoviy boglanishlar. f j frontidagi kirishmalar yoki birlashm alar tarkiblovchilari uyumlari, o ‘sish yo‘nalishining tem peraturaning o ‘q b o ‘ylab gradientidan chetlanishi va kristalldagi m exanik kuchlanishlar sabab bo ‘lishi mumkin. Kristall sirtining tuzilishi uning hajmi tuzilishidan farq qiladi, chunki tashqi atom lar ayrim bog‘lanishlardan m ahrum (I.14-rasm ). Oqibatda kristall sirti kirishma va gazlarni yuqori yutish qobiliyatiga ega. Kristall sirti holati yarim o4kazgichning b a’zi elektr xossalariga m uhim ta ’sir qiladi. Kristallardagi hajmiy nuqsonlarga undagi b o ‘shliqlar (kovaklar), ikkinchi faza kirmalari, kristall asosiy hajmiga nisbatan boshqacha yo‘nalganlikli hajmlar mansubdir. Ular kristallning o ‘sishi jarayonida vujudga keladi. Hajmiy nuqsonlarning nozikrogldan biri dislokatsiyalarning fazoviy to ‘rlari b o iib , ular mozaik tuzilishni hosil qiladi. U larda kichik hajmli bloklar geom etrik m untazam tuzilishga ega va bir-biriga nisbatan yo‘nalganligi ozroq farqli bo‘ladi. Bunday bloklar (kristallchalar) birlashmasi mozaikani eslatadi. Bloklar chegaralari b o ‘yicha odatda dislokatsiyalar joylashgan b o ia d i (I.15-rasm ). Xulosa shuki, barcha nom uvozanatli nuqsonlar dislokatsiyalar bilan aloqador. Endi qattiq jismlarda, xususan yarim olkazgichlarda, mavjud b oiad ig an hajmiy nuqsonlarning makroskopik turlari haqida qisqacha to ‘xtalamiz. Ularga jismning butun hajmini, yo uning ayrim makroskopik qismini egallagan nuqsonlar kiradi. Hajmdagi darzlar va kovaklar, sirtdagi tirnalishlar va hajmda to ‘plangan kirishma uyumlari ana shunday nuqsonlardir. M akronuqsonlar m ikronuqsonlarning birlashishi natijasida hosil b o iish i ravshan. Y arim olkazgichlarni o ‘stirishda m akrokuchlanishlar vujudga kelishiga tem peraturaning jism hajm ida birday bolm asligi katta hissa q o ‘- shadi. Bu kuchlanishlar ter- moelastik kuchlanishlar de yiladi. Y arim olkazgichda uni tayyorlash yoki unga ter- moishlov berishdagi tem peratura taqsim otini issiqlik olkazuvchanlik tenglamasini yechib topiladi (k- solish tirm a issiqlik olk azu v ch an - 1.15—rasm. Y arim olkazgichlarning m ozaik tuzilishi: a —mozaik tuzilish chizmasi; b — InP kristali kesimida mozaik tuzilish. lik koeffitsiyenti, s-jismning solishtirma issiqlik sig‘imi, p -nam una zichligi). Tem peraturaning keskin o ‘zgarishi — issiqlik zarbasi kristallda kengayish-qisilish elastik to ‘lqinlarini hosil qiladi. Agar tem peratura tebranib tursa, bu holda davriy «isish-sovish» jarayoni yuz berib turadi, bu esa nuqsonlar jam g^rilishiga olib keladi (m oddaning charchashi hodisasi yuz beradi). Texnikada ko‘p qatlamli qattiq jism tuzilmalari m uhim o ‘rin tutadi. Bu hollarda taglik va unga o ‘tkazilgan qatlam panjaralari doimiylari farqi, issiqlikdan kengayish koeffitsiyentlarining tafovuti makro- kuchlanishlar (m akronuqsonlar) manbayi b o ‘ladi. Darzlar dislokatsiyalarning kristall ichida ko‘chishi jarayonida torm ozlanishi natijasi sifatida qaraladi. Darzning kengligi uni hosil qilishda qatnashgan dislokatsiyalar miqdoriga bog‘liq. Dislokatsiyalar zichligi rid b o ‘lsa, darzni n^e Byurgers vektorli bitta katta dislokatsiya deb qarasa ham bo‘ladi. Darz hosil bo‘lishining yana bir ehtimoliy yo‘li turli ishorali dislokatsiyalar to ‘plangan ikki kesishuvchi tekislikning o‘zaro ta ’siridir. Darz paydo bo‘lgandan keyin uning taqdiri qanday b o ‘ladi? Darzning uzunligini L bilan, yon chegarasidagi kritik kuchlanishni a orqali, Yung modulini E orqali, buzish solishtirma ishini у orqali belgilasak, hisoblash ifodaga olib keladi. Bu ifodadan nam unani (buyumni) buzmaydigan darzning L uzunligini aniqlash mumkin. Makrokovaklar kristallda atom lar egallagan va atom lar o ‘lcham idan ko‘p m arta katta o lch am li joylardir. Ularning bir tom oni sirtga chiqqan b o lsa, ularni ochiq kovaklar, agar kovak kristall hajmida to ‘la joylashgan bo ‘lsa, ularni yopiq kovaklar deyiladi. Kristallarni o ‘stirishda kovaklar bir qancha yo‘l bilan hosil bo ‘ladi. 1. Kovaklar hosil bo ‘lishining diffuzion mexanizmi mavjud. Kovak kocp sonli vakansiyalar yig‘ilishi natijasi sifatida qaraladi. Jism sirtining egrilangan joylarida vakansiyalar ko‘p to ‘planadi. Tahlil ko‘rsatishicha, qabariq sirt ustida vakansiyalar kamroq, botiq joyda esa ortiqroq bo‘ladi. Demak, kovakning tashqi sirtida vakansiyalar kam, ichki sirtida ortiqcha (1.8) 19 b o iad i. Vakansiyalar kovak hosil bo'layotgan joyga diffuziya y o li bilan ko'chib boradi. 2. Kovaklar termoishlov jarayonida hosil b o iad i. Termoishlov jarayonida nam unalar deformatsiyalanadi va shishadi, ularda kovaklar hosil b o ia d i, termoishlov ko'p m arta takrorlansa, darzlar paydo b o iad i. Termoishlov soni ortishi bilan kovaklar miqdori va o ich am i ortib boradi: kovaklar nam una kesimi bo'yicha notekis taqsimlanadi. A niqrogi, ularning miqdori m arkazdan chetga tom on bir tekis kamayib boradi, 2-3 mm qalinlikdagi silindrik nam unaning gardishida kovaklar bolm aydi. 3. Qattiq jismlar kontakti (masalan, metall va yarim o'tkazgich kontakti) sohasida kovaklar hosil bo'ladi. A va В jismlar kontaktini qaraylik. Qizdirilganda A jism atomlari В jismga, В jismniki A jismga diffuziyalanadi. Diffuziya koeffitsiyentlari teng bolm aganligi uchun kontakt chegarasidan o'ng va chap tom onda diffuziyalangan atom lar m iqdori teng bolm aydi. Oqibatda, masalan, A jism da egallanmagan tugunlar (vakansiyalar), В jism da esa ortiqcha atom lar b o iad i. Demak, A kristallda vakansiyalar manbayi, В kristallda ortiqcha atom lar manbayi ishlab turadi. Chegaraviy dislokatsiyalar A tom onda vakansiyalarni, В tom onda ortiqcha atom larni yutib, qaram a-qarshi yo'nalishlar harakat qiladi. A kristallda vakansiyalar asta-sekin kristalldan sirtga chiqadi, В kristallda esa ular asta sekin paydo bo'ladi. Dem ak, kontakt sohasida bo'shliq o'sadi (Frenkel effekti) va atom lar tekisliklari ko'chib o'tadi (Kirkendal effekti). 4. U chuvchan tarkiblovchili kristallarda kovaklar b o iish i m um kin. Bu holda uchuvchan tarkiblovchining buglanishi ortiqcha vakansiyalar manbayi bo'ladi. Galliy arsenidi GaAs kristallida arseniy As tarkiblovchi ancha uchuvchandir. Bu qattiq jism sirtidan b u g lan ib ketgan atom lar o 'rnida vakansiyalar paydo b o ia d i, ularni ichkaridan atom lar kelib to'ldiradi. Ular ham yana bugianadi, vakansiyalar yana to ld irilad i va h.k. N atijada nam una hajmi ortiqcha miqdordagi vakansiyalar bilan to'yinadi. Ularning b a’zilari sirtga va dislokatsiyalarga ketadi, lekin, bir qismi yigllib kovaklar hosil qiladi. Boshqa hajmiy nuqsonlardan kristalining mozaikaligi va gaz pufaklarini aytib o lam iz. Hajmiy nuqsonlar qattiq jism lar fizik xossalariga m uhim ta ’sir ko'rsatadi. Xususan, ular kristallarda diffuziya jarayonlariga, m akronuqsonlar elastiklik modullariga m uhim ta ’sir ko'rsatadi. Masalan, kovaklarning nisbiy hajmi K V ^ y / f V ^ V f ) , bunda Kc-kovaksiz qatlam hajmi, kovaklar hajmi bo lsin . U kovakli va kovaksiz jism lar siljish moduli (G* va G) va har taraflam a qisilish moduli, mos ravishda, (H * va H) ifodalariga kiradi: 20 G/G *q l-5K(3H+4G)/(9H+8G), (1-9) 1 1 3 К (1.Ю) + Я * H ( \ - K ) 4 G ( \ - K ) Bu ifodalar tajribalarda tasdiqlangan. Kristallarda radiatsion nuqsonlar. Kristallni neytronlar, protonlar, deytronlar, zarralar, elektronlar va boshqa katta tezlikdagi zarralar bilan nurlantirganda nuqsonlarning bir necha xili vujudga keladi. Kristallni y- kvantlar bilan nurlantirishda vujudga keladigan fotoelektronlar va kom pton-elektronlar tuzilish nuqsonlari hosil qilishi m um kin. Radiatsion nuqsonlar nom uvozanatiy nuqsonlardir. Yuqori tem peraturada kristallarni qizdirib turish tez zarralar hosil qilgan nuqsonlar diffuziyasini tezlashtiradi va ularning tez rekombinatsiyalanishiga olib keladi. Kristallarda tez zarralar o layotganda, asosan, tez zarralarning atom lar yadrolari bilan elastik to ‘qnashishi, kristall atomlaridagi elektronlarning yuqori sathga kolarilish yoki ionlanisfr, b a’zi kristall atomlari yadroviy avrilish oqibatida kirishma atom iga aylanishi mumkin. U m um an, bu uchala jarayonlar bir vaqtda sodir b o iish i m umkin. Elastik to ‘qnashishlar ikki hodisani vujuddga keltiradi: 1) kristalida elastik to lq in la r paydo b o ia d i, ularning energiyasi atom larning issiqlik energiyasiga aylanadi: 2) tuzilish nuqsonlari sodir b o iad i. Elastik to ‘qnashishlarda tez zarraning tuzilish nuqsonlari va panjara atomlari tebranishlari hosil qilishga sarflangan energiyalari nisbati zarraning energiyasi va nurlantirilayotgan kristall xossalariga bogiiq. Shuni ta ’kidlash kerakki, nurlantirilganda kristallarda hosil boiadigan nuqsonlar mahalliy suyulish oqibatida vujudga kelishi mumkin. Shunday mahalliy suyulish joylarida 103- 104 atom ni o ‘z ichiga olgan nuqsonlar uyumlari hosil b o iad i. 1. Qattiq jismlar atomlar joylashishi bo‘yicha qanday turlarga ajraladi? 2. Miller indekslari nimalarni belgilaydi? 3. Olmos va sfalerit tuzilishdagi kristallar qanday boiadi? 4. Qattiq jismda elektronlar energiyalari zonalari qanday tuzilgan? 5. Zonalar tuzilishi asosida metallarni tavsiflang. 6. Zonalar tuzilishi asosida yarimolkazgichlar va dielektriklami tavsiflang. 7. Yarimo‘tkazgichlarda qanday nuqsonlar boiadi? 8. Dislokatsiyalar to‘g‘risidagi ma’lumotlaringiz qanday? 9. Kristalida qanday hajmiy nuqsonlar bo‘lishi mumkin? 10. Kuchli nurlanishlar ta’sirida qanday nuqsonlar hosil bo‘ladi? Nazorat savollari 21 |
Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling
ma'muriyatiga murojaat qiling