Va yarimotkazgichli asboblar texnologiyasi
-BOB. KRISTALLAR 0 ‘SISH I KINETIKASI
Download 94.09 Kb. Pdf ko'rish
|
- Bu sahifa navigatsiya:
- ДС = - - — RTl n — + 4 л г 2/ сУ, (II.7)
- p(--^)exp(- k T
- 4.2. Kristallar o ‘sishi mexanizmlari va kinetikasi
- = (1 - c o s 6 > ) 2 ( 2 + c o s 6>)
- 11.12—rasm. Sodda kubik panjarada turlicha 11.13-rasm.
- Qatlamli o ‘sish singulyar va vitsinal sirtlarda amalga oshadi. 0
- II. 14—rasm. Vintsimon dislokatsiya asosida osuvchi kristall yoqi. 57 г
4-BOB. KRISTALLAR 0 ‘SISH I KINETIKASI 4.1. Kristallanish markazlari hosil bo‘lishi Kristallanish jarayonlari birinchi tur fazaviy o ‘tishlar bo ‘lib, ularning oqibatida modda atomlari joylashishi to ‘la yoki qisman tartiblanmagan holatdan (b u g \ suyuqlik) qat’iy tartiblangan holatga (kristall) o ‘tadi. Kristallanish faqat o 4ta to ‘yingan, ya’ni metastabil (barqarormas oraliq) holatdagi tuzilmalarda yuz beradi, bu jarayon butun metastabil faza hajmida bir tekis bormaydi, balki jarayon boshlanishida dastlabki moddaning (tizimning) turli joylarida kristallanish markazlari hosil b o lad i, keyin ular o ‘sa (kattalasha) boradi. Yangi faza (kristall) markazlarining hosil bo'lish mexanizmi gomogen yoki geterogen bo4lishi mumkin. Gom ogen mexanizm amalda b o 4lganda m arkazlar paydo b olishini rag'batlantiruvchi hech qanay qattiq zarralar yoki sirtlar bo4lmaydi, geterogen mexanizm holida esa ular mavjud bo‘ladi. Kristallanish markazlari hosil bolishining termodinamik yoki kapillyar nazariyasl haqida to\xtalamiz. 0 4 a to 4yingan bug‘dan suyuq tom chilar paydo boiishini qaraylik, bunda juda kichik tom chilarga nisbatan term odinam ik tahlil qoMlanishi mumkin deb hisoblaymiz. /• radiusli kichkina tom chining paydo bo'lishi tizimning erkin energiyasi (G)ni A G qadar o'zgartiradi, u AG = AGj + A G ? (11.6) ko'rinishida b o lib , z\G, - bug4 tomchiga aylanganda (konden- satsiyalanganda) erkin energiyauing o 4zgarishi, A G 2 — suyuqlik va bug4 chegarasi sirti shakllanishida erkin energiyaning o 4zgarishi. U ncha murakkab bo'lm agan hisobning natijasi: ДС = - - — RTl n — + 4 л г 2/ сУ, (II.7) 3 v P 0 bunda v — suyuqlik hajmi; P 0 ~ bug4ning T tem peraturadagi muvozanatiy bosimi, P-tom chi hosil b o 4lishidagi o 4ta to 4yingan bug4ning bosimi, у cS - suyuqlik va bug4 chegarasining solishtirma erkin energiyasi. (II.7) ifodadan ko'rinishicha, r kichkina b o lg an d a ikkinchi had kattaroq, r katta bo4lganda birinchi had kattaroq bo 4ladi. -------= 0 dr shartdan kritik rkr ni va AG kr ni topish qiyin emas: 50 r 2 rc sv kr R T £ n P /P 0 ’ (II.8) 3 [ R T ln P ! P 0\ (П.9) r tom chilar bug‘lanishga moyil, ularni m urtak (zarodish) deyiladi, r>rkr o lch am li tom chilarni esa yangi faza markazlari (kristallanish holida kristallanish markazlari) deyiladi. Agar Р / P 0 < 1 b o lsa, A G o ‘zgarish r ortishi bilan ortib boradi, har qanday o lch am li tom chilar bugManishga moyil b o iad i. Xulosa shuki, yangi faza markazlari paydo b o iish i va o ‘sishi uchun yangi fazadagi moddaning erkin energiyasi o ‘sha m oddaning dastlabki fazadagisidan kichik b o iish i zarur. Erkin energiyani bevosita o lch ab bolm aydi, shuning uchun yangi faza markazlari hosil b o iish i va ularning o ‘sishi shartlarini aniqlashda o l a to‘yinish va о l a sovish tushun- chalaridan foydalaniladi. Kristallanish markazlarining paydo b o iish i va o ‘sib borishi uchun dastlabki faza (bug4 yoki suyuqlik) vujudga kelayotgan qattiq fazaga nisbatan o ‘ta to‘yingan yoki о4a sovigan b o iish i zarur. Agar T tem peraturada gaz fazasining P bosimi suyuq yoki qattiq fazalar to ‘yingan buglarning P() bosimidan katta b o lsa , mazkur gaz fazasini o‘ta to‘yingan deyiladi. Ushbu kattaliklar qoilaniladi: Suyuq va qattiq eritm alar uchun quyidagi kattaliklar qoilaniladi: A C - C - C 0 — mutlaq o l a to ‘yinish, orqali tavsiflanadi, Ts — m oddaning suyulish tem peraturasi, T — o l a sovigan suyulma temperaturasi. А Р = P — PQ — mutlaq o l a to ‘yinish, 0 — nisbiy o l a to'yinish, a = P / P 0 — o l a to ‘yinish koeffitsienti: 8 = I n P ! PQ. 0 — nisbiy o l a to ‘yinish, a = С / C 0 — o l a to ‘yinish koeffitsienti. Suyulmalarning o l a sovish kattaligi A T = T - T 51 Ы kr сС=Р/Р0 Kritik o ‘lchamli markazlarning hosil bo‘Iishi faollash energiyasi uchun olingan (II.9) ifoda gaz fazasida yangi faza markazlari (tom chilar) hosil b o ‘lishi tezligining o ‘ta to ‘yinish darajasiga bog‘lanishini hisob qilish im konini beradi. Yangi faza markazlari paydo b o ‘lish tezligi kritik o ‘lchamli markazlarning o ‘z o ‘lchamini orttirish o ‘rtacha tezligiga teng. Agar CDfo orqali kritik markazning atom yoki molekulalarni vaqt birligida tutib (birlashtirib) olish sonini (chastotasini) belgilasak, nkr orqali birlik hajmdagi markazlar sonini belgilasak, u holda gaz fazasining bir hajm ida yangi faza markazlari hosil bo‘lishi tezligi I = cokrn kr ( 11. 10) b o ‘ladi. Kritik markaz sirti S kr = 4 л г 2кг, bug1 fazasidan m azkur sirtga zarralar oqimi q - P /( 2 л т к Т ) ,иг kondensatsiya koeffitsienti ac ekanligi e ’tiborga olinsa, (11. 10) ifoda quyidagicha shakl oladi: I = a cq skrn kr ( 11. 11) Bolsman statistikasiga asosan, II. 9—rasm. O 'ta to 'y in g a n b u g 'd a su y u q to m ch ilar hosil b o 'lish I te zlig in in g o 'ta to 'y in ish koeffitsien ti a g a b o a 'lan ish i. n kr « n xe x p { - A G kr / k T ) , bunda n x - P I k T / = ■ gaz fazada zarralar soni. Demak, 2 acP л/ ImnkT yana ham aniq hisoblar natijasi a P , AG, ^ krn \exP ( - A G kr / k T ) ( 11. 12) I = 4 лг:kr (: л]I m n k T ЪттКП у п (е х р ( - A G kr / K T ) , (11.13) kr bunda ik - kritik o ic h a m li markazdagi zarralar soni. (11.13) ifoda tahlili ko'rsatishicha, biror o ‘ta to ‘yinishdan boshlab yangicha faza markazlari paydo bo‘iish tezligi keskin ortib ketadi. Bu o ‘ta to ‘yinishni kritik o ‘ta to ‘yinish deyiladi. 52 Endi suyuq fazada qattiq faza markazlari paydo b o iish i jarayonini qaraymiz. Bu hoi uchun bajarilgan hisoblashlar erkin energiya o ‘zgarishining kritik kattaligi uchun 4 Ч У * ? 2 A Gr (11.14) 27 ( g ; - g o 2 ifodani beradi, bunda /7- markaz shaklini hisobga oluvchi koeffitsient, y ck - suyuqlik va qattiq faza chegara sirtida solishtirma erkin energiya, VL - suyuq faza hajmi, G c va G h - suyuq va qattiq fazadagi molar erkin energiya. AG hp o ‘zgarish o l a sovish А Г kattaligiga bogiiq. 4 r W i . AG. - T (11.15) 27 L 2 A T 2 Ts — suyuqlik tem peraturasi, L - kristallanish yashirin m olar issiqligi. G az fazada tom chilar hosil b o iish i jarayoni tahlilida qilingan farazlardan foydalanib, suyuqlikda kristall fazasi markazlari hosil b o iish i tezligi uchun quyidagi ifodani olamiz: I = hex p(--^)exp(- k T (11.16) bunda к — tem peraturaga sust bogiangan doimiy, U — atom (yoki molekula) uchun suyuq faza chegaradagi potensial to ‘siq. (11.16) ifodaning ko‘rsatishi- cha, kristall faza markazining paydo b o lish ehtimolligi AGkr or qali aniqlanadi va u suyulmaning o l a sovush darajasi A T ortishi bilan ortib boradi, am mo 7ning kamayishi atom lar harakatchanli- gini biroz kamaytiradi. Shuning uchun har qanday suyuqlik optimal o l a sovish darajasiga ega b o ia d i (II. 10-rasm), bunda / maksimal b o iad i. Demak, mar- kazlar paydo b o lish tezligiga di va kristallanish markazi orasidagi 11.10—rasm. Suyuq fazada gom ogen m urtaklar hosil bo'lishi tezligining suyulm a o'ta to'yinishiga bog'lanishi. 53 namik omildan boshqa yana kinetik omil (harakatchanlik) ham ta ’sir ko'rsatishi mumkin. Qovushoqmas suyuqliklar (masalan, kremniy va germaniy suyulmalari) kristallanishida kinetik omil muhim emas, bu holda yuqorida aytilgan / maksimumi kuzatilmaydi. Suyulmalardan kristall va am orf qattiq jism lar olish shartlari quyidagilardir. Qovushoq (masalan, kremniy oksidi asosidagi) suyulmalarni, haqiqatda foydalaniladigan o ‘ta to ‘yinganlik ko‘rinishida qotib qoladi. Bu jarayon kristallanishdan farq qiladi va shishalanish deyiladi, m o 'rt holatga tegishli o ‘tish tem peraturasini shishalanish Г temperaturasi deyiladi. Bunday amorf qattiq jismda (uni shisha deyiladi) zarralar joylashishida uzoq tartib yo‘q, am m o bir necha panjara doimiysi chamasidagi masofada zarralar joylashishida yaqin tartib mavjud b o iad i. II.3-jadval Modda Suyulish temperaturasi, °C Qovushoqlik Pas Modda Suyulish temperaturasi, °C Qovushoqlik Pas Ge 937 0,8-10-3 S i0 2 1722 104 Si 1414 0,9-10-3 G e02 1116 7 i 0 4 GaAs 1237 l ,8i 0 '3 b 2o 3 450 104 h , o 0 2 10-3 AS203 312 105 A b 0 3 2050 60-10"3 BeF2 550 105 Suyulmalarning qovushoqligi ularning shishasimon holatga o ‘tishi qobiliyatining bosh sababi b o iad i. Qovushoqligi past m oddalar suyulmalarini shishasimon holatga o ‘tkazish ancha qiyin, buning uchun bu suyulmalarni ( 105- 106)grad./s tezlikda sovitish talab qilinadi. Shunday qilib, tem peratura pasayganda m oddaning suyulgan holatdan qattiq holatga o iish i ikki y o i bilan yuz beradi: m odda yo kristallanadi, yoki shisha shaklida qotadi. Kristallanish bir tayinli temperaturada (qotish nuqtasi) sodir b o iad i, m oddaning xossalari bu holda sakrashsimon o ‘zgaradi. Suyulmaning shishalanishi muayyan tem peraturalar o ralig ida sodir b o ia d i, bunda m odda xossalari silliq o ‘zgaradi. 0 ‘ta to'yingan suyuq eritm alarda qotish markazlari hosil b o iish i jarayoni tahlili o ‘ta to ‘yingan b u g ia r va o ‘ta sovigan suyulmalarda markazlar hosil b o iish i tahliliga ko‘p jihatdan o‘xshashdir. Bunda gaz fazasi o ‘ta to ‘yinish koeffitsieti o ‘rniga eritm aning o ‘ta to ‘yinish koeffitsienti kiritiladi. 54 2 r . v ,ck (II. 17) R T £ n C /C 0 Bayon qilingan nazariya yangi faza markazlari hosil b o iish i boshlanishi uchun kerak kritik o l a to'yinish va o l a sovish kattaliklarini baholash imkonini beradi. Suyulmalardan kristallanish holida A T kr oraliq 0.2Tsuyui ni tashkil etadi. G az holatidan kondensirlanish (qo‘yilish) holida kritik o l a to ‘yinish a = P I P 0 koeffitsienti 10 tartibidagi kattalik b oiadi. Maxsus tajribalar bu baholashlarni tasdiqlaydi. Endi yangi faza markazlarining geterogen hosil b o iish i jarayonini o l a to ‘vingan bug‘ning silliq, tekis, toza taglikka o lis h i misolida ko‘ramiz. Bunda h ollanish m uvozanatiy burchagi uchta sirt tarangliklari muvozanati shartiday aniqlanadi: Убк =Yck +Гсб c o s d (H-18) Y ok ’ Y ck va Уco -bug‘-qattiq jism, suyuqlik-qattiq jism va suyuqlik- bug‘ chegaralari sirtlarining solishirma erkin energiyalaridir. Geterogen markazlar hosil b o iish i hodisasida tizim erkin energiyasi o‘zgarishi: А О ^ (4 ж - Ч , - ^ f 1 ^ f a P / P a) (1- . Cg S g )^ 2 + C° S'>V „, (11.19) Gom ogen holdagiga nisbatan A G da oxirgi kasr ko‘paytiruvchi qo‘shim cha paydo b o ld i. Demak, A G j* = AGgk°m (1~ cos^ ) ^ 2 + cos^) = bG fTfiO ) (11.20) Ba’zi xususiy hollarni ko‘raylik. # = 180° — suyuqlik taglikni t o l a hollam aydi. Bu holda A G k* = A G f°m, suyuqlik va taglik zarralari deyarli o ‘zaro ta ’sirlashmaydi. 6 = 0 ° — yangi faza taglikni to la hollaydi, A G ^ m - 0 , markazlar va taglik zarralari kuchli o ‘zaro ta ’sirlashadi. 0°< в < 180° holda gomogen markaz hosil qilishdan ko‘ra, energetik nuqtayi nazardan geterogen markaz hosil qilish ancha qulay (II. 11-rasm). Yana shuni aytish kerakki, kristall faza markazlarning gaz yoki suyuq fazalardan geterogen hosil b o iish i holida markaz va taglikning anizotrop deformatsiyasini hisobga olish zarur b o iad i. Geterogen kristall faza markazlari hosil b o lish id a kirishmalar muhim ta ’sir ko‘rsatishi mumkin. Chegaraviy h o llan ish burchagi, markazning hosil b o iish i faollash energiyasi va bu jarayonning tezligi kirishmalar zichligiga b o g iiq boiadi. 55 Taglikning nuqsonlari ham qaralayotgan jarayonlarga muhim ta ’sir qiladi. Endi yangi faza markazlari geterogen hosil b o iish i tezligi to ‘g‘risida to ‘xtalamiz. Birlik yuzaga nisbatan bu tezlik (И .21) bunda Z- muvozanatsizlik omili, пЦ* -kritik o ich am li markazlar zichligi: A G get « Г = « , e x p ( - _ ^ _ ) .(H.22) Ba’zi boshqa omillarni hisobga olinganda shu keltirilgan (11.21) ifoda murakkabroq tus oladi. Bayon qilingan yangi faza hosil boiishining term odinam ik nazariyasi hozirgacha olingan ko4pchilik tajriba natijalarini qoniqarli tushuntira oladi, u markazlar oich am lari va hosil b o iish i tezligining o £ta to ‘yinish, taglik, temperaturasi va uning tabiatiga bogiiqligini to ‘g‘ri bashorat qiladi. Ammo, uni katta o ‘ta to ‘yinish hollariga tatbiq qilib boim aydi. 4.2. Kristallar o ‘sishi mexanizmlari va kinetikasi Kristalining o ‘sish tezligi uning sirtida atom lar joylashishi qandayligiga bogiiq. Ideal (m ukam mal) kristallar yoqlari sirtlari atom lar joylashishi bo‘yicha uch turga boiin adi: singulyar, vitsinal va singulyarmas (diffuz) sirtlar b o iad i. Ideal sharoitda hech qanday pog‘onalarsiz bo ig an silliq yoqlar singulyar sirtlar deyiladi. Singulyar yoqlar nisbatan kichik erkin sirtiy energiyaga ega va ularda atom lar zich taxlangan. Vitsinal sirtlar singulyar sirtlarning bevosita yaqinida yo‘nalgan sirtlar hisoblanadi. Ular, singulyar yoqlar bilan kichik burchak hosil qilib, uzun singulyar yoqlarning pog‘onali yassi qismlaridan iborat b o iad i. Vitsinal yoqlar pog‘onali b o ig an i tufayli singulyar yoqlarnikidan kattaroq sirtiy energiyaga ega. II. 11—rasm. = (1 - c o s 6 > ) ' 2 ( 2 + c o s 6>) fu n k siy a m u v o zan atin in g h o ila s h 0 b u rc h a g ig a b o q la n is h i qrafiqi. 56 11.12—rasm. Sodda kubik panjarada turlicha 11.13-rasm. A tom -silliq У° nalgan yoqlar sirtlari sirtning o'sish modeli. Singulyarmas yoqlar singulyar yoqlar bilan yetarlicha katta burchaklar hosil qiladi va ko‘p pog‘onali bo‘ladi. Bu yoqlar eng katta sirtiy energiyaga ega. Aytilgan yoqlar sirtlari II.12-rasmda tasvirlangan. Yuqori temperaturada singulyar yoqlar silliqligi yo‘qolishi va ular singulyarmas bo‘lib qolishi mumkin. Bu hodisa kristallning suyulish nuqtasidan pastda yuz berishi mumkin. Qatlamli o ‘sish singulyar va vitsinal sirtlarda amalga oshadi. 0 ‘sayotgan sirtiga tushgan atomli pog‘ona sinig‘ida mustahkam bog‘lanadi. (II.13-rasm, 3). Agar kubik panjara qaralsa, mazkur (3) holatda atom 6 qo‘shnidan uchtasi bilan bog‘lanadi. 2 -holatda atom faqat ikkita, 1 -holatda esa faqat bitta qo‘shni atom bilan bog‘langan bo‘ladi. Tashqi fazadan kristall sirtiga tushgan atom o‘z energiyasi qismini panjaraga beradi va kristall sirti atomlari bog‘lanish kuchlari ta’sirida bu sirtga yutiladi (yopishadi). Pog‘ona sinig‘i to ‘ldirila boradi, u tamoman to 4 lib bo‘lganda yana kelgan atom boshqa pog‘onaga yopishib siniq hosil qiladi, keyingi kelgan atomlar uning qatoriga joylasha boradi, bu qator tolgach, yangi qator toidirila boshlaydi va bu jarayon davom etib kristall o‘sa boradi. Bunday o‘sish mexanizmi uchun qandaydir kritik o‘ta to ‘yinish boiishi zarur. Tajriba II. 14—rasm. Vintsimon dislokatsiya asosida o'suvchi kristall yoqi. 57 г haqiqiy hollarda ancha kichikroq to‘yinishi boiganida ham kristallar tez o‘sishini ko‘rsatdi. Bundan kristall o‘sishi sirtida pog‘onalar hosil qiluvchi manba bor bo'ladi degan xulosa kelib chiqadi. Haqiqatan ham bunday manba vazifasini, masalan vintsimon dislokatsiya bajarishi mumkin, chunki u sirtga chiqib yo‘qolmas pog‘ona hosil qiladi (11.14- rasm). Vintsimon dislokatsiyalar yordamida o ‘sish jarayoni ideal kristallda pog‘onali o‘sish mexanizmiga o‘xshash bo‘ladi: vintsimon dislokatsiya tufayli sirtda hosil bolgan pog'onalarda siniqlar bo 4 lib, u joylarga yutilgan atomlar tizila boshlaydi, pog'onalar vintsimon tarzda o‘sa boradi — kristall o‘sadi. (II. 15-rasm). Singulyarmas sirtlarda kristallarning normal o ‘sishi amalga oshadi. Bu sirtlar (atomlar o ‘lchamida) g‘adir-budir bo‘lganligi sababli ularda siniqlar bir tekis joylashgan, yangi zarralar sirtning har qanaqa joyida qo‘shilib boradi. Bu hodisada kristall yoqlari o‘ziga tik ravishda o‘sadi. Shuning uchun bu o ‘sish mexanizmini normal o ‘sish deyiladi. II. 15—rasm. V in ts im o n d is lo k a ts iy a ta 's irid a o 's a y o tg a n sirt k o 'rin is h i. 4.3. Kristallar o 6sishining sirtiy kinetikasi Suyulma (gaz, bug‘) va o^sayotgan kristall chegarasi kristallanish fronti deyiladi. Oldin aytilganidek, vintsimon dislokatsiya hosil qilgan pog‘onaga atomlar qo‘shila borib, u spiralga aylanadi, o‘sayotgan sirtda piramidalar vujudga keladi. (II. 15-rasm.) Gaz fazasidan kristallanish holida bevosita bug‘dan (gazdan) o‘sayotgan sirt pog‘onasiga kam zarra tushadi, chunki bug4ning zichligi kichik va sirt ham kattamas. Shuning uchun kristall o‘sishiga sirtning turli qismlarida yutilgan zarralarning diffuzion oqimi asosiy hissa qo‘shadi. Bu qismlar yuzi katta, ularga o‘tirib qolgan va keyin dislokatsion pogkona tomonga diffuziyalanuvchi zarralar ko‘p bo ladi. Bu holda sirtning (qatlamdor-spiralsimon) o'sishi tezligi (kristallanish fronti siljishi tezligi): 58 IV 2 v = k {Q.n 0 vk2e АГ(—— ) th — , (11.23) a j a bunda kj va k2- adsorbsion qatlam va siniqlar orasida zarralar almashinish koeffitsientlari, Q - zarra hajmi; n 0 - kristall atomlari sirtiy zichligi, v-zarra tebranishlari chastotasi, a - оЧа to ‘yinish, 2 лгкг / Л5)сг -markaz (sho‘rtak)ning kritik radiusi, rkr- adsorb- langan holatda zarraning o‘rtacha ko‘chishi, W- zarraning bugianish energiyasi. Past o‘ta to‘yinishlar ( o « G x) holida o‘sish (kristallanish fronti siljishi) tezligining o‘ta to‘yinishga bogianish qonuni kelib chiqadi: a 2 v = k lCln 0 k 2ve KT ---- (11.24) Katta o‘ta to‘yinishlar ( a » holida IV v - k \ Q n 0 vk2 (11.25) Bitta dislokatsiyaning o‘zi butun kristall yoqining o ‘sishini ta’minlay oladi. Kristalining suyulmadan o‘sishining sirtiy kinetikasi faqat kristallanish sirti tuzilishiga emas. Balki suyulmaning qovushoqligiga ham bogiiq, chunki bu kristall o‘sishiga halaqit beradigan sababdir. Atom oicham larida gsadir-budur sirtlar normal (tik) mexanizm bo‘yicha o‘sadi. Ularda o4sish markazlari sirt atomlari zichligi (10 Download 94.09 Kb. Do'stlaringiz bilan baham: |
Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©fayllar.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling
ma'muriyatiga murojaat qiling