Elektronika va radiotexnika kafedrasi

 
 
 
 
Pardali va Gibrid mikrosxemalar 
Pardali IS – bu dielektrik asos sirtiga surtilgan elementlari parda ko’rinishida bajarilgan 
mikrosxema. Pardalar past bosimda turli materiallardan yupqa paradalar ko’rinishida 
cho’kmalar hosil qilish yo’li bilan olinadi. 
Parda hosil qilish usuli va unga bog’liq bo’lgan qalinligiga ko’ra yupqa pardali IS 
(parda qalinligi 1 – 2 mkm gacha) va qalin pardali IS (parda qalinligi 10 – 20 mkm gacha 
va katta) larga bo’linadi. 
Hozirgi kunda barqaror pardali diodlar va tranzistorlar mavjud emas, shu sababli 
pardali ISlar faqat passiv elementlar (rezistorlar, kondensatorlar va h.k.) dan tashkil 
topadi. 
Gibrid IS (yoki GIS) – bu pardali passiv elementlar bilan diskret aktiv elementlar 
kombinatsiyasidan tashkil topgan, yagona dielektrik asosda joylashgan mikrosxema. 
Diskret komponentlarni osma elementlar deb atashadi. Qobiqsiz yoki mikro miniatyur 
metall qobiqli mikrosxemalar gibrid IMSlar uchun aktiv elementlar bo’lib hisoblanadilar. 
Gibrid integral mikrosxemalarning asosiy afzalligi: nisbatan qisqa ishlab chiqish 
vaqtida analog va raqamli mikrosxemalarning keng turlarini yaratish imkoniyati: keng 
nomenal turaga ega bo’lgan passiv elementlar hosil qilish imkoniyati; MDYA – asboblar, 
diodli va tranzistorli matritsalar va yuqori yaroqli mikrosxemalar chiqishi. 
Integratsiyalashgan mikrosxemalar 

---

Sirtga o'rnatish uchun mo'ljallangan zamonaviy integral mikrosxemalar. 
Sovet va xorijiy raqamli mikrosxemalar.
Ajralmas(inglizcha. Integral sxema, IC, mikrosxem, mikrosxem, silikon chip yoki chip), 
( mikro)sxema (IS, IC, m / sh), chip, mikrochip(ing.) chip- chip, chip, chip) - 
mikroelektronik moslama - yarimo'tkazgich kristalida (yoki plyonkada) ishlab 
chiqarilgan va ajratib bo'lmaydigan holda joylashtirilgan o'zboshimchalik bilan 
murakkablikdagi elektron zanjir. Ko'pincha ostida integral mikrosxema(IC) kristalning 
o'zi yoki elektron pallaga ega plyonka sifatida tushuniladi va mikrosxem(MS) - ishda 
berilgan IS. Shu bilan birga, "chip komponentlari" iborasi, taxtadagi teshiklarga an'anaviy 
lehim uchun komponentlardan farqli o'laroq, "sirtni o'rnatish uchun komponentlar" degan 
ma'noni anglatadi. Shuning uchun sirtga o'rnatish uchun mikrosxemani anglatuvchi "chip 
mikrosxemasi" deyish to'g'riroq. IN hozirda(yil) ko'p mikrosxemalar sirtga o'rnatish 
uchun paketlarda ishlab chiqarilgan. 
Tarixi 
Mikrosxemalarning ixtirosi past elektr kuchlanishdagi zaif elektr o'tkazuvchanligi 
ta'sirida namoyon bo'lgan yupqa oksidli plyonkalarning xususiyatlarini o'rganishdan 
boshlandi. Muammo shundaki, ikkita metallning aloqa nuqtasida elektr aloqasi yo'q edi 
yoki u qutbli xususiyatlarga ega edi. Ushbu hodisani chuqur o'rganish diodlar va 
keyinchalik tranzistorlar va integral mikrosxemalarni kashf etishga olib keldi. 

---

Fotolitografiya jarayonining ketma-ketligi
 

---