Portal guldu uz-ярим ўтказгичли Қ
АКСЛАНИШНИ КАМАЙТИРУВЧИ қАТЛАМЛАР ОЛИШ
Download 0.72 Mb. Pdf ko'rish
|
|
4.2. АКСЛАНИШНИ КАМАЙТИРУВЧИ қАТЛАМЛАР ОЛИШ
УСУЛЛАРИ. Бундай қатламлар олиш усуллари хилма-хил бўлишига қарамасдан асосан қуйида келтирилган уч хил усул асосий бўлиб ҳисобланади. Бунга сабаб уларнинг имконлилиги ва нисбатан қониқарлигидадир. Вакуумда учириш усули билан аксланишни камайтирадиган қатламлар олиш. Бу усул билан деярли турли хил қатламлар олиш мумкин. Буни биз кремний монооксиди олиш мисолида кўриб ўтамиз. Умуман кремний оксидлари (SiO ва SiO 2 лар) микроэлектроникада қўлланиладиган асосий материаллардан ҳисобланади ва уларни олиш Расм.22. Ҳар хил бирикмалар асосидаги қатламлар олинган кремнийдан тайёрланган қуёш элементлари қайтариш коэффициентининг спектрал ўзгариши. 1- қатламсиз; 2 – SiO ( d қ 0,15 мкм); 3 – ZnS ( d қ 0,15 мкм) қ кремний органик лак (ℓ қ 50 мкм); 4 - ZnS ( d қ 0,15 мкм) қ кремний органикли каучук қ шиша пластина (ℓ қ 0,5 мм); 5 – идеал совутилган ҳол. технологияси кўпчиликка маълум. Фотоэлектрик тизимларда улар оптик параметрларининг тўғри келиши нуқтаи назаридан ишлатилади. Кремнийли қЭ лари ишлайдиган оптик диапазон Ер шароити учун бу 0,4- 1,1 мкм дир. Шунинг учун антирефлексион қатлам шу диапазонда тушаётган нурни максимал ўтказиш хусусиятига эга бўлиши керак. 76 Кремний оксиди аралашмаси SiO х нинг синдириш кўрсаткичи 1,6-1,8 га тенгдир. Оптика қонунларига асосан унинг қопламадаги қалинлиги 950- 1100 о А бўлиши керак. Бу монооксидни вакуумда учириш усули билан олиш учун унинг майдаланган (0,5-1мм) фракцияси олинади. Акслантиришни камайтирувчи қатлам қалинлигини назорат қилиш учун асосий намуналар билан бирга «йўлдош» намуна ҳам олинади ва назорат ишлари «йўлдош» намунада олиб борилади. «Йўлдош» намуна сифатида шаффоф материаллар, масалан шиша олинади. Аксланишни камайтирувчи қатлам қалинлиги интерференция ҳодисасига асосланиб, интерферометри бор бўлган микроскоплар ёрдамида аниқланади. Бундан ташқари маълумотномалардан олинган жадваллар ёрдамида олинган оксиднинг рангига қараб қалинликни маълум аниқликда топиш мумкин. 22-Расмда ҳар хил материалдан тайёрланган аксланишни камайтирувчи оптик қопламаларнинг аксланиш коэффициентининг тушаётган ёруғлик тўлқин узунлигига қараб ўзгариши келтирилган. Download 0.72 Mb. Do'stlaringiz bilan baham: 
|