Казанский

ИОННО-ЛУЧЕВОЙ УСКОРИТЕЛЬ ИЛУ-3

Ионно-лучевой ускоритель ИЛУ-3 предназначен для получения в ус-

ловиях высокого вакуума моноизотопных пучков однозарядных ионов раз-

личных элементов с энергией до 100 кэВ при ионном токе в несколько

миллиампер. При использовании пучков двух-, трех- и четырехзарядных

ионов энергетический интервал может быть расширен до 200 - 300 кэВ.

Рис.27. Внешний вид ускорителя ИЛУ-3

По принципу действия ускоритель аналогичен масс-спектрометру

секторного типа с симметричным расположением источника и коллектора

ионов относительно магнитного анализатора.

Ускорение ионов в установке ИЛУ-3 производится в два приема: до

50 кэВ в области ионно-оптической системы источника и дополнительно

такую же энергию однозарядные ионы получают в области приемника.

Принципиальная схема установки показана на Рис.28.

72

10 м

6 м 7

6

^{1 5}

_{3 4}

2

Рис.28. Схематическое ионно-лучевого ускорителя изображение ИЛУ-3:

1 – источник ионов, 2 – ионопровод, 3 – магнит масс-сепаратора, 4 - траек-

тория ионов, 5 – приемник ионов, 6 – диффузионные насосы, 7 - форваку-

умный насос.

Установка состоит из:

1. Источника ионов (1) с системами напуска, формирования и ускорения

пучка ионов;

2. Приемника ионов (5) с системой послеускорения и блоком контроля

ионного тока и дозы;

3. Вакуумной камеры (2);

4. Масс- сепаратора (3);

5. Системы сканирования;

6. Вакуумных насосов (6 и 7);

7. Блоков питания магнита и высокого напряжения.

73