Mavzu: kremniyda yig’ilgan nikel kirishmasini morfologik parametrlarni o’rganish

18. KIRISH
Sifatida sirtdagi fizik jarayonlarni o'rganish rag'batlantiriladi
ilmiy va amaliy qiziqishlar. Muammolarni hal qilish uchun
kataliz, adsorbsiya, plyonka o'sishi, tuzilishini o'rganish kerak va
atomik toza yuzalar morfologiyasi, sirtni qayta tiklash,
unga begona atomlarning adsorbsiyasi, sirt diffuziyasining ta'siri. DA
texnologiyaning eng tez rivojlanayotgan sohalaridan biri
mikroelektronika - keyingi taraqqiyot darajaning oshishi bilan bog'liq
integratsiya va kvant o'lchami effektlarini ishlatadigan qurilmalarga o'tish. Kvant o'lchovli ob'ektlarni yaratish
effektlar, shuningdek, berilgan tarkibi, tuzilishi bilan yupqa plyonkalar va
doping darajasi, molekulyar nurli epitaksiya usuli qo'llaniladi
(MLE). Bunday ob'ektlarning shakllanishi sirtning xususiyatlari bilan belgilanadi
va unda sodir bo'ladigan jarayonlar. Yuzaki tuzilishi, mavjudligi
adsorbsiyalangan atomlarning sirt diffuziya bosqichlari va xususiyatlari
MBE jarayonida yuzaga keladigan jarayonlarga bevosita ta'sir qiladi. Shunday qilib
Shunday qilib, sirt diffuziyasini o'rganish muhim va dolzarbdir
vazifa.
Adsorbsiyalangan atomlarning diffuziyalanishiga qaramasdan
epitaksiya paytida sodir bo'ladigan jarayonlarga bevosita ta'sir qiladi
kremniy yuzasi, o'rganishga bag'ishlangan ishlarning aksariyati
metall yuzalar bilan bog'liq diffuziya. Tegishli ishlar soni
kremniy yuzasida diffuziyani qiyosiy o'rganish
oz. Shunday qilib, sirtning koeffitsientlari aniqlandi
oltin va indiyning tarqalishi sirt tuzilishiga bog'liq [1, 2]. O'qigan
birinchi guruh elementlarining sirt diffuziyasi - kaliy, rubidiy va seziy
[3]. Shu bilan birga, intensiv bo'lgan ko'p sonli elementlar uchun
tadqiq qilingan va texnologiyada foydalanilgan, sirtdagi ma'lumotlar